MEMS​

MicroElectroMechanical Systems degan ma'noni anglatadigan MEMS 1 dan 100 mikrometrgacha (mikrometr metrning milliondan bir qismi) o'lchamdagi qismlardan tashkil topgan kichik chipli mikromashinalar bo'lib, MEMS qurilmalari odatda 20 mikrometrdan o'zgarib turadi_cc781905-5cde-3194-bbbad_85- (metrning 20 milliondan bir qismi) millimetrgacha. Aksariyat MEMS qurilmalari diametri bir necha yuz mikronni tashkil qiladi. Ular odatda ma'lumotlarni qayta ishlaydigan markaziy blokdan, mikroprotsessordan va mikrosensorlar kabi tashqi bilan o'zaro ta'sir qiluvchi bir nechta komponentlardan iborat. Bunday kichik o'lchamlarda klassik fizika qoidalari har doim ham foydali emas. MEMSning katta sirt maydoni va hajm nisbati tufayli elektrostatika va namlanish kabi sirt effektlari inersiya yoki termal massa kabi hajm effektlari ustunlik qiladi. Shu sababli, MEMS dizayni va ishlab chiqilishi ushbu noklassik fizika qoidalarini hisobga olgan holda ushbu sohada aniq tajriba va maxsus dasturiy ta'minotni talab qiladi.

​

MEMS, ayniqsa, so'nggi bir necha o'n yilliklarda ular odatda elektronika ishlab chiqarish uchun ishlatiladigan modifikatsiyalangan yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish texnologiyalari yordamida ishlab chiqarilishi mumkin bo'lganidan keyin amaliy bo'ldi. Bularga qoliplash va qoplama, ho'l ishlov berish (KOH, TMAH) va quruq qirqish (RIE va DRIE), elektr razryadli ishlov berish (EDM), yupqa plyonkalarni joylashtirish va juda kichik qurilmalarni ishlab chiqarishga qodir bo'lgan boshqa texnologiyalar kiradi.

​

Agar sizda yangi MEMS kontseptsiyasi bo'lsa, lekin maxsus dizayn vositalari va/yoki to'g'ri tajribaga ega bo'lmasangiz, biz sizga yordam bera olamiz. Dizayn, ishlab chiqish va ishlab chiqarishdan so'ng biz MEMS mahsulotingiz uchun moslashtirilgan sinov apparati va dasturiy ta'minotini ishlab chiqishimiz mumkin. Biz MEMS ishlab chiqarishga ixtisoslashgan bir qator tashkil etilgan quyma korxonalar bilan ishlaymiz. 150 mm va 200 mm gofretlar ISO/TS 16949 va ISO 14001 ro'yxatdan o'tgan va RoHSga mos muhitlarda qayta ishlanadi. Biz ilg'or tadqiqotlar, dizayn, ishlab chiqish, sinov, malaka, prototip yaratish, shuningdek, yuqori hajmli tijorat ishlab chiqarishni amalga oshirishga qodirmiz. Bizning muhandislarimiz tajribasiga ega bo'lgan ba'zi mashhur MEMS qurilmalariga quyidagilar kiradi:

​

• Akselerometrlar

• Giroskoplar/ Gyros

• Magnetometrlar

• Mikrofonlar

• Rezonatorlar

• Optik MEMS(masalan, raqamli proyektorlar, barcha optik tolali optik kalit)

• MEMS aktuatorlariva Sensorlar (harakat sensori, bosim sensori kabi)

• RF kalitlari va varaktorlar

• Energiya yig'uvchilar

• Mikrobolometrlar

 

Kichkina MEMS sensorlari va aktuatorlari smartfonlar, planshetlar, avtomobillar, proyektorlar va boshqalarda yangi funksiyalarni ishga tushirdi. va narsalar Interneti (IoT) uchun juda muhim. Boshqa tomondan, MEMS maxsus muhandislik muammolarini, jumladan, nostandart ishlab chiqarish jarayonlarini, ko'p fizikaviy o'zaro ta'sirlarni, IClar bilan integratsiyani va maxsus germetik qadoqlash talablarini taqdim etadi. MEMS-ga xos dizayn platformasi bo'lmasa, MEMS mahsulotini bozorga chiqarish uchun ko'p yillar kerak bo'ladi. Biz MEMSni loyihalash va rivojlantirish uchun ilg'or vositalardan foydalanamiz. Tanner MEMS Design bizga birlashgan muhitda 3D MEMS dizayni va ishlab chiqarishni qo'llab-quvvatlash imkonini beradi va MEMS qurilmalarini bir xil ICda analog/aralash signalni qayta ishlash sxemasi bilan birlashtirishni osonlashtiradi. Bu mexanik, termal, akustik, elektr, elektrostatik, magnit va suyuqlik tahlillari orqali MEMS qurilmalarining ishlab chiqarish qobiliyatini oshiradi. Coventorning boshqa dasturiy vositalari bizga MEMS dizayni, simulyatsiyasi, tekshirishi va jarayonni modellashtirish uchun kuchli platformalarni taklif etadi. Coventor platformasi koʻp fizikaviy oʻzaro taʼsirlar, jarayonning oʻzgarishi, MEMS+IC integratsiyasi, MEMS+paket oʻzaro taʼsiri kabi MEMS-ga xos muhandislik muammolarini hal qiladi. Bizning MEMS muhandislarimiz haqiqiy ishlab chiqarishga kirishishdan oldin qurilma xatti-harakatlari va o'zaro ta'sirini modellashtirish va taqlid qilish imkoniyatiga ega va bir necha soat yoki kun ichida fabrikada qurish va sinovdan o'tkazish uchun odatda bir necha oy davom etadigan effektlarni modellashtirishi yoki taqlid qilishi mumkin. MEMS dizaynerlarimiz foydalanadigan ilg'or vositalardan ba'zilari quyidagilardir.

 

Simulyatsiyalar uchun:

• Mentordan Tanner MEMS dizayn oqimi

• MEMS+, CoventorWare, Coventordan SEMulator3D

• IntelliSense

• Comsol MEMS moduli

• ANSYS

 

Maskalarni chizish uchun:

• AutoCAD

• Vektor ishlari

• Layout muharriri

 

Modellashtirish uchun:

• Solidworks

 

Hisob-kitoblar, analitik, raqamli tahlillar uchun:

• Matlab

• MathCAD

• Matematika

 

Quyida biz bajaradigan MEMS loyihalash va ishlab chiqish ishlarining qisqacha roʻyxati keltirilgan:

• Tartibdan MEMS 3D modelini yarating

• MEMS ishlab chiqarish uchun dizayn qoidalarini tekshirish

• MEMS qurilmalari va IC dizaynining tizim darajasidagi simulyatsiyasi

• To'liq qatlam va dizayn geometriyasi vizualizatsiyasi

• Parametrlangan hujayralar bilan avtomatik tartib yaratish

• MEMS qurilmalaringizning xatti-harakatlar modellarini yaratish

• Kengaytirilgan niqob tartibi va tekshirish oqimi

• DXF fayllarini eksport qilish   

​

MIKROSULIKLAR

Bizning mikrofluidik qurilmalarni loyihalash va ishlab chiqish operatsiyalarimiz kichik hajmdagi suyuqliklar bilan ishlov beriladigan qurilmalar va tizimlarni ishlab chiqarishga qaratilgan. Biz siz uchun mikrofluidik qurilmalarni loyihalash va ilovalaringiz uchun moslashtirilgan prototiplash va mikro ishlab chiqarishni taklif qilish imkoniyatiga egamiz. Mikrofluidik qurilmalarga misol qilib, mikropropulsion qurilmalar, lab-on-a-chip tizimlari, mikro-termik qurilmalar, inkjet bosib chiqarish kallaklari va boshqalar kiradi. Mikrofluidikada biz sub-milimetrli hududlarga cheklangan suyuqliklarni aniq nazorat qilish va manipulyatsiya qilish bilan shug'ullanishimiz kerak. Suyuqliklar ko'chiriladi, aralashtiriladi, ajratiladi va qayta ishlanadi. Mikrosuyuqlik tizimlarida suyuqliklar kichik mikronasoslar va mikroklapanlar va shunga o'xshashlar yordamida faol ravishda harakatlanadi va boshqariladi yoki kapillyar kuchlardan passiv ravishda foydalaniladi. Chipdagi laboratoriya tizimlarida odatda laboratoriyada amalga oshiriladigan jarayonlar samaradorlik va harakatchanlikni oshirish, shuningdek namuna va reagentlar hajmini kamaytirish uchun bitta chipda miniatyura qilinadi.

Mikrofluidik qurilmalar va tizimlarning ba'zi asosiy ilovalari:

​

- Chipdagi laboratoriyalar

- Giyohvand moddalarni tekshirish

- glyukoza testlari

- Kimyoviy mikroreaktor

- Mikroprotsessorni sovutish

- Mikro yonilg'i xujayralari

- Proteinning kristallanishi

- Dori vositalarining tez o'zgarishi, bitta hujayraning manipulyatsiyasi

- Bir hujayrali tadqiqotlar

- Sozlanishi mumkin bo'lgan optofluidik mikrolinzalar massivlari

- Mikrogidravlik va mikropnevmatik tizimlar (suyuq nasoslar,

gaz klapanlari, aralashtirish tizimlari ... va boshqalar)

- Biochip erta ogohlantirish tizimlari

- Kimyoviy turlarni aniqlash

- Bioanalitik ilovalar

- Chipdagi DNK va oqsillarni tahlil qilish

- Ko'krak purkagich qurilmalari

- Bakteriyalarni aniqlash uchun kvarts oqim hujayralari

- Ikki yoki bir nechta tomchi hosil qilish chiplari

​

AGS-Engineering, shuningdek, kichik miqyosda gazli va suyuq tizimlar va mahsulotlarda konsalting, dizayn va mahsulotlarni ishlab chiqishni taklif qiladi. Biz murakkab oqim harakatini tushunish va vizualizatsiya qilish uchun ilg'or Hisoblash suyuqliklari dinamikasi (CFD) vositalarini, shuningdek, laboratoriya sinovlaridan foydalanamiz. Bizning mikrofluidik muhandislarimiz gözenekli muhitda mikro miqyosdagi suyuqlikni tashish hodisalarini tavsiflash uchun CFD asboblari va mikroskopiyadan foydalanganlar. Shuningdek, biz quyish zavodlari bilan tadqiqot, loyihalash bo'yicha yaqin hamkorlik qilamiz. Mikrofluidik va bioMEMS komponentlarini ishlab chiqish va yetkazib berish. Biz sizga o'zingizning mikrosuyuq chiplaringizni loyihalash va ishlab chiqarishda yordam bera olamiz. Bizning tajribali chiplarni loyihalash bo'yicha jamoamiz sizga maxsus dasturingiz uchun kichik partiyalar va hajmdagi mikrosuyuqlik chiplarini loyihalash, prototiplash va ishlab chiqarishda yordam berishi mumkin. Plastmassadagi qurilmalardan boshlash tez sinovlar uchun tavsiya etiladi, chunki PDMS qurilmalariga nisbatan ishlab chiqarish uchun kamroq vaqt va xarajat talab etiladi. Biz PMMA, COC kabi plastmassalarda mikrofluid naqshlarini ishlab chiqarishimiz mumkin. PDMS da mikrofluidik naqshlarni yaratish uchun biz fotolitografiya, so'ngra yumshoq litografiya qilishimiz mumkin. Biz metall ustalarini ishlab chiqaramiz, biz guruch va alyuminiyda naqshlarni frezalashtiramiz. PDMS da qurilma ishlab chiqarish va plastmassa va metallarga naqshlar yasash bir necha hafta ichida yakunlanishi mumkin. Biz so'rov bo'yicha plastmassada ishlab chiqarilgan naqshlar uchun ulagichlarni, masalan, 1 mm port o'lchamiga mos keladigan port konnektorlari va 360 mikronli PEEK kapillyar naychalarini ulash uchun fitting bilan ta'minlay olamiz. Suyuqlik portlari va shprits pompasi o'rtasida 0,5 mm ichki diametrli tygon trubkasini ulash uchun metall pinli o'rnatilgan erkak mini luer bilan ta'minlanishi mumkin. 100 mkl hajmdagi suyuqlik saqlash rezervuarlari. ham taqdim etilishi mumkin. Agar sizda allaqachon dizayn mavjud bo'lsa, siz Autocad, .dwg yoki .dxf formatlarida topshirishingiz mumkin.

​

​