MEMS​

MikroElektroMekanik Sistemleri temsil eden MEMS, boyutu 1 ila 100 mikrometre (bir mikrometre bir metrenin milyonda biridir) arasındaki bileşenlerden oluşan küçük çip ölçekli mikro makinelerdir ve MEMS cihazları genellikle 20 mikrometre arasında değişir  (bir metrenin 20 milyonda biri) milimetreye kadar. Çoğu MEMS cihazı birkaç yüz mikron çapındadır. Genellikle verileri işleyen merkezi bir birim, mikroişlemci ve mikrosensörler gibi dış ortamla etkileşime giren birkaç bileşenden oluşurlar. Bu kadar küçük boyutlu ölçeklerde klasik fizik kuralları her zaman işe yaramaz. MEMS'in geniş yüzey alanı/hacim oranı nedeniyle, elektrostatik ve ıslanma gibi yüzey etkileri, atalet veya termal kütle gibi hacim etkilerine baskındır. Bu nedenle, MEMS tasarımı ve geliştirmesi, bu klasik olmayan fizik kurallarını hesaba katan özel yazılımların yanı sıra alanda özel deneyim gerektirir.

​

MEMS, normalde elektronik yapmak için kullanılan değiştirilmiş yarı iletken cihaz üretim teknolojileri kullanılarak üretildikten sonra özellikle son birkaç on yılda pratik hale geldi. Bunlar, kalıplama ve kaplama, ıslak dağlama (KOH, TMAH) ve kuru dağlama (RIE ve DRIE), elektrik deşarjlı işleme (EDM), ince film biriktirme ve çok küçük cihazlar üretebilen diğer teknolojileri içerir.

​

Yeni bir MEMS konseptiniz varsa ancak özel tasarım araçlarına ve/veya doğru uzmanlığa sahip değilseniz, size yardımcı olabiliriz. Tasarım, geliştirme ve üretimden sonra MEMS ürününüz için özelleştirilmiş test donanımı ve yazılımı geliştirebiliriz. MEMS imalatında uzmanlaşmış bir dizi yerleşik dökümhane ile çalışıyoruz. Hem 150 mm hem de 200 mm gofretler, ISO/TS 16949 ve ISO 14001 kayıtlı ve RoHS uyumlu ortamlarda işlenir. Önde gelen araştırma, tasarım, geliştirme, test, kalifikasyon, prototipleme ve yüksek hacimli ticari üretim gerçekleştirme yeteneğine sahibiz. Mühendislerimizin deneyim sahibi olduğu bazı popüler MEMS cihazları şunlardır:

​

• ivmeölçerler

• Jiroskoplar/ Jiroskoplar

• manyetometreler

• mikrofonlar

• rezonatörler

• Optik MEMS(dijital projektörler, tüm fiber optik anahtarlar gibi)

• MEMS Aktüatörlerive Sensörler (hareket sensörü, basınç sensörü gibi)

• RF Anahtarları ve Varaktörler

• Enerji Hasat Makineleri

• Mikro Bolometreler

 

Minik MEMS sensörleri ve aktüatörleri, akıllı telefonlarda, tabletlerde, arabalarda, projektörlerde vb. yeni işlevler sağladı. ve Nesnelerin İnterneti (IoT) için kritik öneme sahiptir. Öte yandan MEMS, standart olmayan üretim süreçleri, çoklu fizik etkileşimleri, IC'ler ile entegrasyon ve özel hermetik paketleme gereksinimleri dahil olmak üzere özel mühendislik zorlukları sunar. MEMS'e özel bir tasarım platformu olmadan, bir MEMS ürününün pazara sunulması genellikle uzun yıllar alır. MEMS tasarlayan ve geliştiren gelişmiş araçlar kullanıyoruz. Tanner MEMS Design, tek bir birleşik ortamda 3D MEMS tasarım ve üretim desteği sağlar ve MEMS cihazlarını aynı IC üzerinde analog/karışık sinyal işleme devresiyle entegre etmeyi kolaylaştırır. MEMS cihazlarının üretilebilirliğini mekanik, termal, akustik, elektrik, elektrostatik, manyetik ve akışkan analizleri yoluyla geliştirir. Coventor'un diğer yazılım araçları bize MEMS tasarımı, simülasyonu, doğrulaması ve süreç modellemesi için güçlü platformlar sunuyor. Coventor'un platformu, çoklu fizik etkileşimleri, süreç varyasyonları, MEMS+IC entegrasyonu, MEMS+paket etkileşimi gibi MEMS'ye özgü mühendislik zorluklarını ele alır. MEMS mühendislerimiz, fiili üretime geçmeden önce cihaz davranışını ve etkileşimlerini modelleyebilir ve simüle edebilir ve saatler veya günler içinde, fabrikada normalde aylarca inşa edilmesi ve test edilmesi gereken etkileri modelleyebilir veya simüle edebilirler. MEMS tasarımcılarımızın kullandığı gelişmiş araçlardan bazıları şunlardır.

 

Simülasyonlar için:

• Mentor'dan Tanner MEMS Tasarım Akışı

• MEMS+, CoventorWare, Coventor'dan SEMulator3D

• İyileştirmek

• Comsol MEMS Modülü

• ANSYS

 

Maske çizmek için:

• AutoCAD

• vektör çalışmaları

• Düzen Düzenleyici

 

Modelleme için:

• Solidworks

 

Hesaplamalar, analitik, sayısal analiz için:

• matlab

• MatematikCAD

• matematik

 

Aşağıda, gerçekleştirdiğimiz MEMS tasarım ve geliştirme çalışmalarının kısa bir listesi bulunmaktadır:

• Düzenden bir MEMS 3D modeli oluşturun

• MEMS üretilebilirliği için tasarım kuralı kontrolü

• MEMS cihazlarının sistem düzeyinde simülasyonu ve IC tasarımı

• Eksiksiz katman ve tasarım geometrisi görselleştirmesi

• Parametreli hücrelerle otomatik düzen oluşturma

• MEMS cihazlarınızın davranışsal modellerinin oluşturulması

• Gelişmiş maske düzeni ve doğrulama akışı

• DXF dosyalarının dışa aktarılması   

​

MİKROAkışkanlar

Mikroakışkan cihaz tasarım ve geliştirme operasyonlarımız, içinde küçük hacimli sıvıların işlendiği cihaz ve sistemlerin imalatına yöneliktir. Sizin için mikroakışkan cihazlar tasarlama ve uygulamalarınız için özel olarak hazırlanmış prototipleme ve mikro üretim sunma yeteneğine sahibiz. Mikroakışkan cihazlara örnek olarak mikro tahrik cihazları, çip üzerinde laboratuvar sistemleri, mikro termal cihazlar, mürekkep püskürtmeli yazıcı kafaları ve daha fazlası verilebilir. Mikroakışkanlarda, milimetre altı bölgelerle sınırlı sıvıların hassas kontrolü ve manipülasyonu ile uğraşmak zorundayız. Akışkanlar taşınır, karıştırılır, ayrılır ve işlenir. Mikroakışkan sistemlerde akışkanlar, ya küçük mikro pompalar ve mikro valfler ve benzerleri kullanılarak aktif olarak ya da kılcal kuvvetlerden pasif olarak yararlanılarak hareket ettirilir ve kontrol edilir. Çip üzerinde laboratuvar sistemleri ile, normalde bir laboratuvarda yürütülen işlemler, verimliliği ve hareketliliği artırmak ve ayrıca numune ve reaktif hacimlerini azaltmak için tek bir çip üzerinde minyatürleştirilir.

Mikroakışkan cihaz ve sistemlerin bazı önemli uygulamaları şunlardır:

​

- Bir çip üzerindeki laboratuvarlar

- İlaç taraması

- Glikoz testleri

- Kimyasal mikroreaktör

- Mikroişlemci soğutma

- Mikro yakıt hücreleri

- Protein kristalizasyonu

- Hızlı ilaç değişimi, tek hücrelerin manipülasyonu

- Tek hücre çalışmaları

- Ayarlanabilir optoakışkan mikrolens dizileri

- Mikrohidrolik ve mikropnömatik sistemler (sıvı pompaları,

gaz vanaları, karıştırma sistemleri…vs)

- Biochip erken uyarı sistemleri

- Kimyasal türlerin tespiti

- Biyoanalitik uygulamalar

- Çip üzerinde DNA ve protein analizi

- Nozul püskürtme cihazları

- Bakteri tespiti için kuvars akış hücreleri

- Çift veya çoklu damlacık oluşturma çipleri

​

AGS-Mühendislik ayrıca küçük ölçeklerde gazlı ve sıvı sistem ve ürünlerde danışmanlık, tasarım ve ürün geliştirme hizmetleri sunmaktadır. Karmaşık akış davranışını anlamak ve görselleştirmek için gelişmiş Hesaplamalı Akışkanlar Dinamiği (CFD) araçlarını ve laboratuvar testlerini kullanıyoruz. Mikroakışkan mühendislerimiz, gözenekli ortamlarda mikro ölçekli sıvı taşıma olaylarını karakterize etmek için CFD araçlarını ve mikroskopiyi kullandılar. Ayrıca araştırma ve tasarım için dökümhanelerle yakın işbirliğimiz var. Mikroakışkan ve bioMEMS bileşenleri geliştirin ve tedarik edin. Kendi mikroakışkan çiplerinizi tasarlamanıza ve üretmenize yardımcı olabiliriz. Deneyimli çip tasarım ekibimiz, özel uygulamanız için küçük lotlar ve hacimsel miktarlarda mikroakışkan çiplerin tasarımı, prototiplenmesi ve imalatında size yardımcı olabilir. PDMS'deki cihazlara kıyasla imalat için daha az zaman ve maliyet gerektirdiğinden, hızlı denemeler için plastikler üzerindeki cihazlarla başlanması önerilir. PMMA, COC gibi plastikler üzerinde Mikroakışkan desenler üretebiliriz. PDMS'de mikroakışkan desenler oluşturmak için fotolitografi ve ardından yumuşak litografi yapabiliriz. Metal ustaları üretiyoruz, Pirinç ve Alüminyum üzerine kalıplar işliyoruz. PDMS üzerinde cihaz üretimi ve plastik ve metaller üzerinde kalıp yapımı birkaç hafta içinde tamamlanabilir. Talep üzerine, 1 mm port boyutuna uyumlu port konektörleri ve 360 mikron PEEK kılcal boruları bağlamak için bağlantı parçası gibi plastikler üzerinde üretilen desenler için konektörler sağlayabiliriz. 0,5 mm iç çaplı tygon tüpünü sıvı portları ve şırınga pompası arasına bağlamak için metal pim tertibatlı erkek mini luer sağlanabilir. 100 µl kapasiteli sıvı depolama rezervuarları. da sağlanabilir. Halihazırda bir tasarımınız varsa Autocad, .dwg veya .dxf formatlarında gönderebilirsiniz.

​

​