MEMS​

MEMS, nangtung pikeun MicroElectroMechanical Systems mangrupikeun mesin mikro skala chip leutik anu diwangun ku komponén ukuranana antara 1 dugi ka 100 mikrométer (mikrométer sajuta sajuta méter) sareng alat MEMS umumna ukuranana ti 20 micrometers_cc781905-5cde-3194-bb3b-136bad_cf58d (20 juta méter) nepi ka milimeter. Kalolobaan alat MEMS sababaraha ratus microns sakuliah. Éta biasana diwangun ku hiji unit sentral nu ngolah data, microprocessor sarta sababaraha komponén nu berinteraksi sareng luar kayaning microsensors. Dina skala ukuran leutik sapertos kitu, aturan fisika klasik henteu salawasna mangpaat. Kusabab luas permukaan MEMS anu ageung pikeun rasio volume, épék permukaan sapertos éléktrostatik sareng wetting ngadominasi épék volume sapertos inersia atanapi massa termal. Ku alatan éta, desain sareng pamekaran MEMS meryogikeun pangalaman khusus dina widang ogé parangkat lunak khusus anu merhatikeun aturan fisika non-klasik ieu.

​

MEMS janten praktis utamana salila sababaraha dekade panungtungan sanggeus aranjeunna bisa fabricated maké téhnologi fabrikasi alat semikonduktor dirobah, nu ilaharna dipaké pikeun nyieun éléktronika. Ieu kalebet molding sareng plating, etching baseuh (KOH, TMAH) sareng etching garing (RIE sareng DRIE), machining discharge listrik (EDM), déposisi pilem ipis sareng téknologi sanés anu tiasa ngahasilkeun alat anu alit.

​

Upami anjeun gaduh konsép MEMS énggal tapi henteu gaduh alat desain khusus sareng / atanapi kaahlian anu leres, kami tiasa ngabantosan anjeun. Saatos desain, pamekaran sareng fabrikasi urang tiasa ngembangkeun parangkat lunak uji sareng parangkat lunak pikeun produk MEMS anjeun. Urang damel sareng sababaraha foundries ngadegkeun husus dina fabrikasi MEMS. Duanana wafer 150mm sareng 200mm diolah dina lingkungan anu kadaptar ISO / TS 16949 sareng ISO 14001 sareng lingkungan anu patuh RoHS. Kami sanggup ngalaksanakeun panalungtikan, desain, pamekaran, uji coba, kualifikasi, prototyping ogé produksi komérsial volume tinggi. Sababaraha alat MEMS populér insinyur urang gaduh pangalaman di antarana:

​

• Akselerometer

• Giroskop/ Giros

• Magnétometer

• Mikropon

• Résonator

• MEMS optik(sapertos proyektor digital, sadaya saklar serat optik)

• Aktuator MEMSsareng Sénsor (sapertos sénsor gerak, sénsor tekanan)

• Saklar RF & Variaktor

• Énergi Harvesters

• Mikro-Bolométer

 

Sensor MEMS leutik sareng aktuator parantos ngaktifkeun fungsionalitas énggal dina telepon pinter, tablet, mobil, proyektor… sarta kritis kana Internet of Things (IoT). Di sisi anu sanés, MEMS nampilkeun tantangan rékayasa khusus, kalebet prosés fabrikasi non-standar, interaksi multi-fisika, integrasi sareng IC, sareng syarat bungkusan hermetik khusus. Tanpa platform desain khusus MEMS, sering nyandak sababaraha taun pikeun nyangking produk MEMS ka pasar. Urang ngagunakeun parabot canggih ngarancang jeung ngamekarkeun MEMS. Tanner MEMS Desain ngamungkinkeun urang 3D MEMS desain jeung fabrikasi ngarojong dina hiji lingkungan ngahiji, sarta matak ngamudahkeun pikeun ngahijikeun alat MEMS kalawan analog / circuitry processing sinyal campuran dina IC sarua. Éta ningkatkeun kamampuan alat MEMS ngalangkungan mékanis, termal, akustik, listrik, éléktrostatik, magnét sareng analisa cairan. Parabot parangkat lunak sanés ti Coventor nawiskeun kami platform anu kuat pikeun desain MEMS, simulasi, verifikasi sareng modél prosés. Platform Coventor alamat tantangan rékayasa MEMS-spésifik kayaning interaksi multi-fisika, variasi prosés, MEMS + integrasi IC, MEMS + interaksi bungkusan. Insinyur MEMS kami tiasa modél sareng nyontokeun paripolah alat sareng interaksi sateuacan ngalakukeun kana fabrikasi anu saleresna, sareng dina sababaraha jam atanapi dinten, aranjeunna tiasa modél atanapi simulasi épék anu biasana nyandak sababaraha bulan ngawangun sareng nguji dina fab. Sababaraha alat canggih anu dianggo ku désainer MEMS kami nyaéta kieu.

 

Pikeun simulasi:

• Tanner MEMS Desain Aliran ti Mentor

• MEMS +, CoventorWare, SEMulator3D ti Coventor

• IntelliSense

• Comsol MEMS Module

• ANSYS

 

Pikeun ngagambar masker:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Layout Editor

 

Pikeun modeling:

• Solidworks

 

Pikeun itungan, analitik, analisis numerik:

• Matlab

• MathCAD

• Matematika

 

Ieu mangrupikeun daptar ringkes ngeunaan desain & pamekaran MEMS anu urang laksanakeun:

• Jieun modél MEMS 3D tina perenah

• Desain aturan mariksa pikeun MEMS manufacturability

• Simulasi tingkat sistem alat MEMS sareng desain IC

• Lengkep lapisan & desain visualisasi géométri

• Generasi perenah otomatis sareng sél parameterized

• Generasi model paripolah alat MEMS anjeun

• Tata perenah topeng canggih sareng aliran verifikasi

• Ékspor file DXF   

​

MIKROFUIDIK

Desain alat microfluidics kami sarta operasi ngembangkeun ditujukeun pikeun fabrikasi alat jeung sistem nu volume leutik cairan diatur. Kami gaduh kamampuan mendesain alat mikrofluida pikeun anjeun sareng nawiskeun prototyping & micromanufacturing khusus anu disaluyukeun pikeun aplikasi anjeun. Conto alat mikrofluida nyaéta alat propulsi mikro, sistem lab-on-a-chip, alat mikro-termal, printhead inkjet sareng seueur deui. Dina microfluidics urang kudu nungkulan kontrol tepat jeung manipulasi cairan konstrain ka wewengkon sub-milimeter. Cairan dipindahkeun, dicampur, dipisahkeun sareng diolah. Dina sistem microfluidic cairan anu dipindahkeun sarta dikawasa boh aktip ngagunakeun micropumps leutik sarta microvalves jeung kawas atawa passively ngamangpaatkeun gaya kapilér. Kalayan sistem lab-on-a-chip, prosés anu biasana dilaksanakeun di laboratorium miniatur dina hiji chip pikeun ningkatkeun efisiensi sareng mobilitas ogé ngirangan volume sampel sareng réagen.

Sababaraha aplikasi utama alat sareng sistem mikrofluida nyaéta:

​

- Laboratorium dina chip

- Saringan ubar

- Uji glukosa

- Mikroréaktor kimiawi

- Microprocessor cooling

- sél suluh mikro

- kristalisasi protéin

- Robah ubar gancang, manipulasi sél tunggal

- Studi sél tunggal

- Asép Sunandar Sunarya microlens optofluidic

- Sistem Microhydraulic & micropneumatic (pompa cair,

klep gas, sistem pencampuran, jsb)

- Sistem peringatan dini Biochip

- Deteksi spésiés kimiawi

- Aplikasi bioanalitik

- Analisis DNA sareng protéin dina chip

- Alat semprot nozzle

- Sél aliran Quartz pikeun deteksi baktéri

- Dual atawa sababaraha chip generasi droplet

​

AGS-Engineering ogé nawiskeun konsultasi, desain sareng pamekaran produk dina sistem sareng produk gas sareng cair, dina skala leutik. Kami nganggo alat Computational Fluid Dynamics (CFD) canggih sareng uji laboratorium pikeun ngartos sareng ngabayangkeun paripolah aliran anu kompleks. Insinyur microfluidics kami parantos nganggo alat CFD sareng mikroskop pikeun ngacirian fénoména angkutan cair skala mikro dina média porous. Urang ogé boga gawé babarengan deukeut jeung foundries panalungtikan, desain. Ngembangkeun sareng nyayogikeun komponén microfluidic & bioMEMS. Kami tiasa ngabantosan anjeun ngadesain & ngadamel chip mikrofluida anjeun nyalira. Tim desain chip kami anu berpengalaman tiasa ngabantosan anjeun dina desain, prototyping sareng fabrikasi kavling leutik sareng jumlah volume chip microfluidic pikeun aplikasi khusus anjeun. Dimimitian ku alat dina plastik disarankeun pikeun uji gancang sabab butuh waktos sareng biaya langkung sakedik pikeun fabrikasi dibandingkeun sareng alat dina PDMS. Urang tiasa ngadamel pola Microfluidic dina plastik sapertos PMMA, COC. Urang tiasa ngalakukeun photolithography dituturkeun ku lithography lemes keur nyieun pola microfluidic on PDMS. Kami ngahasilkeun master logam, kami ku pola panggilingan dina Kuningan sareng Aluminium. Fabrikasi alat dina PDMS sareng ngadamel pola dina plastik sareng logam tiasa réngsé dina sababaraha minggu. Kami tiasa nyayogikeun panyambungna pikeun pola anu didamel dina plastik upami dipénta sapertos konektor port anu cocog pikeun ukuran port 1mm sareng pas pikeun nyambungkeun tabung kapilér 360 micron PEEK. Luer mini jalu sareng perakitan pin logam tiasa disayogikeun pikeun nyambungkeun tabung tygon kalayan diaméter jero 0,5 mm antara palabuhan cairan sareng pompa jarum suntik. Reservoir neundeun cairan kapasitas 100 μl. ogé bisa disadiakeun. Upami anjeun parantos gaduh desain, anjeun tiasa ngalebetkeun dina format Autocad, .dwg atanapi .dxf.

​

​