MEMS​

MEMS, singkatan untuk Sistem MikroElektroMekanikal ialah mesin mikro berskala cip kecil yang terdiri daripada komponen bersaiz antara 1 hingga 100 mikrometer (mikrometer ialah satu persejuta meter) dan peranti MEMS biasanya bersaiz daripada 20 mikrometer_cc781905-5cde-3194-bb3b-136bad_cf58d (20 persejuta meter) kepada milimeter. Kebanyakan peranti MEMS berukuran beberapa ratus mikron. Ia biasanya terdiri daripada unit pusat yang memproses data, mikropemproses dan beberapa komponen yang berinteraksi dengan luar seperti mikrosensor. Pada skala saiz yang kecil, peraturan fizik klasik tidak selalu berguna. Disebabkan nisbah luas permukaan kepada isipadu MEMS yang besar, kesan permukaan seperti elektrostatik dan pembasahan mendominasi kesan isipadu seperti inersia atau jisim terma. Oleh itu, reka bentuk dan pembangunan MEMS memerlukan pengalaman khusus dalam bidang serta perisian khusus yang mengambil kira peraturan fizik bukan klasik ini.

​

MEMS menjadi praktikal terutamanya dalam beberapa dekad yang lalu selepas ia boleh direka menggunakan teknologi fabrikasi peranti semikonduktor yang diubah suai, yang biasanya digunakan untuk membuat elektronik. Ini termasuk pengacuan dan penyaduran, goresan basah (KOH, TMAH) dan goresan kering (RIE dan DRIE), pemesinan nyahcas elektrik (EDM), pemendapan filem nipis dan teknologi lain yang mampu menghasilkan peranti yang sangat kecil.

​

Jika anda mempunyai konsep MEMS baharu tetapi tidak memiliki alatan reka bentuk khusus dan/atau kepakaran yang betul, kami boleh membantu anda. Selepas reka bentuk, pembangunan dan fabrikasi kami boleh membangunkan perkakasan ujian dan perisian tersuai untuk produk MEMS anda. Kami bekerja dengan beberapa faundri yang ditubuhkan khusus dalam fabrikasi MEMS. Kedua-dua wafer 150mm dan 200mm diproses di bawah persekitaran berdaftar ISO/TS 16949 dan ISO 14001 serta mematuhi RoHS. Kami mampu melaksanakan penyelidikan, reka bentuk, pembangunan, ujian, kelayakan, prototaip terunggul serta pengeluaran komersial volum tinggi. Beberapa peranti MEMS popular yang berpengalaman jurutera kami termasuk:

​

• Accelerometer

• Giroskop/ Gyros

• Magnetometer

• Mikrofon

• Resonator

• MEMS optikal(seperti projektor digital, semua suis gentian optik optik)

• Penggerak MEMSdan Penderia (seperti penderia gerakan, penderia tekanan)

• Suis & Variaktor RF

• Penuai Tenaga

• Mikro-Bolometer

 

Penderia dan penggerak MEMS kecil telah mendayakan fungsi baharu dalam telefon pintar, tablet, kereta, projektor...dsb. dan penting kepada Internet Perkara (IoT). Sebaliknya, MEMS membentangkan cabaran kejuruteraan khusus, termasuk proses fabrikasi bukan standard, interaksi berbilang fizik, penyepaduan dengan IC dan keperluan pembungkusan hermetik tersuai. Tanpa platform reka bentuk khusus MEMS, ia selalunya mengambil masa bertahun-tahun untuk membawa produk MEMS ke pasaran. Kami menggunakan alat canggih mereka bentuk dan membangunkan MEMS. Tanner MEMS Design membolehkan kami reka bentuk MEMS 3D dan sokongan fabrikasi dalam satu persekitaran bersatu, dan memudahkan untuk menyepadukan peranti MEMS dengan litar pemprosesan isyarat analog/campuran pada IC yang sama. Ia meningkatkan kebolehkilangan peranti MEMS melalui analisis mekanikal, terma, akustik, elektrik, elektrostatik, magnetik dan cecair. Alat perisian lain daripada Coventor menawarkan kami platform yang berkuasa untuk reka bentuk, simulasi, pengesahan dan pemodelan proses MEMS. Platform Coventor menangani cabaran kejuruteraan khusus MEMS seperti interaksi berbilang fizik, variasi proses, penyepaduan MEMS+IC, interaksi pakej MEMS+. Jurutera MEMS kami dapat memodelkan dan mensimulasikan gelagat dan interaksi peranti sebelum membuat fabrikasi sebenar, dan dalam beberapa jam atau hari, mereka boleh memodelkan atau mensimulasikan kesan yang biasanya mengambil masa berbulan-bulan untuk membina dan menguji dalam fab. Beberapa alat canggih yang digunakan oleh pereka MEMS kami adalah yang berikut.

 

Untuk simulasi:

• Aliran Reka Bentuk MEMS Tanner daripada Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D daripada Coventor

• IntelliSense

• Modul MEMS Comsol

• ANSYS

 

Untuk melukis topeng:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Editor Reka Letak

 

Untuk pemodelan:

• Solidworks

 

Untuk pengiraan, analisis, analisis berangka:

• Matlab

• MathCAD

• Mathematica

 

Berikut ialah senarai ringkas kerja reka bentuk & pembangunan MEMS yang kami lakukan:

• Cipta model 3D MEMS daripada susun atur

• Semakan peraturan reka bentuk untuk kebolehkilangan MEMS

• Simulasi peringkat sistem peranti MEMS dan reka bentuk IC

• Visualisasi geometri lapisan & reka bentuk lengkap

• Penjanaan susun atur automatik dengan sel berparameter

• Penjanaan model tingkah laku peranti MEMS anda

• Susun atur topeng lanjutan dan aliran pengesahan

• Eksport fail DXF   

​

MIKROFUIDIK

Reka bentuk peranti mikrobendalir kami dan operasi pembangunan bertujuan untuk fabrikasi peranti dan sistem di mana sejumlah kecil cecair dikendalikan. Kami mempunyai keupayaan untuk mereka bentuk peranti mikrobendalir untuk anda dan menawarkan prototaip & pembuatan mikro yang disesuaikan untuk aplikasi anda. Contoh peranti mikrobendalir ialah peranti mikro-pendorong, sistem makmal-pada-cip, peranti mikro-terma, kepala cetakan inkjet dan banyak lagi. Dalam mikrobendalir kita perlu berurusan dengan kawalan tepat dan manipulasi cecair yang terhad kepada kawasan sub-milimeter. Bendalir digerakkan, dicampur, diasingkan dan diproses. Dalam sistem mikrobendalir cecair digerakkan dan dikawal sama ada secara aktif menggunakan pam mikro kecil dan injap mikro dan seumpamanya atau secara pasif mengambil kesempatan daripada daya kapilari. Dengan sistem lab-on-a-chip, proses yang biasanya dijalankan dalam makmal dikecilkan pada satu cip untuk meningkatkan kecekapan dan mobiliti serta mengurangkan jumlah sampel dan reagen.

Beberapa aplikasi utama peranti dan sistem mikrobendalir ialah:

​

- Makmal pada cip

- Pemeriksaan dadah

- Ujian glukosa

- Mikroreaktor kimia

- Penyejukan mikropemproses

- Sel bahan api mikro

- Penghabluran protein

- Perubahan ubat yang cepat, manipulasi sel tunggal

- Kajian sel tunggal

- Tatasusunan mikrolens optofluidik boleh melaras

- Sistem mikrohidraulik & mikropneumatik (pam cecair,

injap gas, sistem pencampuran...dll)

- Sistem amaran awal biocip

- Pengesanan spesies kimia

- Aplikasi bioanalisis

- Analisis DNA dan protein pada cip

- Peranti semburan muncung

- Sel aliran kuarza untuk pengesanan bakteria

- Cip penjanaan dwi atau berbilang titisan

​

AGS-Engineering juga menawarkan perundingan, reka bentuk dan pembangunan produk dalam sistem dan produk gas dan cecair, pada skala kecil. Kami menggunakan alatan Computational Fluid Dynamics (CFD) termaju serta ujian makmal untuk memahami dan menggambarkan gelagat aliran yang kompleks. Jurutera mikrobendalir kami telah menggunakan alat CFD dan mikroskop untuk mencirikan fenomena pengangkutan cecair skala mikro dalam media berliang. Kami juga mempunyai kerjasama rapat dengan foundries untuk penyelidikan, reka bentuk. Membangunkan dan membekalkan komponen mikrobendalir & bioMEMS. Kami boleh membantu anda mereka bentuk & mengarang cip mikrobendalir anda sendiri. Pasukan mereka bentuk cip kami yang berpengalaman boleh membantu anda melalui reka bentuk, prototaip dan fabrikasi lot kecil dan kuantiti volum cip mikrobendalir untuk aplikasi khusus anda. Bermula dengan peranti pada plastik disyorkan untuk percubaan pantas kerana ia mengambil masa dan kos yang lebih sedikit untuk fabrikasi berbanding peranti pada PDMS. Kita boleh membuat corak Microfluidic pada plastik seperti PMMA, COC. Kita boleh melakukan fotolitografi diikuti dengan litografi lembut untuk mencipta corak mikrofluid pada PDMS. Kami menghasilkan induk logam, kami menggunakan corak pengilangan pada Loyang dan Aluminium. Pembuatan peranti pada PDMS dan membuat corak pada plastik dan logam boleh disiapkan dalam masa beberapa minggu. Kami boleh menyediakan penyambung untuk corak yang direka pada plastik atas permintaan seperti penyambung port yang serasi untuk saiz port 1mm bersama-sama dengan pemasangan untuk menyambungkan tiub kapilari PEEK 360 mikron. Luer mini lelaki dengan pemasangan pin logam boleh dibekalkan untuk menyambungkan tiub tygon diameter dalam 0.5 mm antara port bendalir dan pam picagari. Takungan simpanan cecair berkapasiti 100 μl. juga boleh disediakan. Jika anda sudah mempunyai reka bentuk, anda boleh menyerahkan dalam format Autocad, .dwg atau .dxf.

​

​