MEMS​

MEMS, MicroElectroMechanical Systems дегенди билдирет, бул 1ден 100 микрометрге чейинки (микрометр бир метрдин миллиондон бир бөлүгү) компоненттерден турган кичинекей чиптик масштабдуу микромашиналар жана MEMS түзмөктөрү жалпысынан 20 микрометрден баштап өзгөрөт_cc781905-5cde-3194-bb365d- (метрдин 20 миллиондон бир бөлүгү) миллиметрге чейин. Көпчүлүк MEMS түзмөктөрү бир нече жүз микронду түзөт. Алар, адатта, маалыматтарды иштеп чыгуучу борбордук бирдиктен, микропроцессордон жана микросенсорлор сыяктуу тышкы менен өз ара аракеттенүүчү бир нече компоненттерден турат. Мындай кичинекей масштабда классикалык физиканын эрежелери дайыма эле пайдалуу боло бербейт. MEMS'тин чоң аянтынын көлөмүнө болгон катышына байланыштуу, электростатика жана нымдоо сыяктуу беттик эффекттер инерция же жылуулук массасы сыяктуу көлөмдүк эффекттер үстөмдүк кылат. Ошондуктан, MEMS долбоорлоо жана иштеп чыгуу бул классикалык эмес физика эрежелерин эске алуу менен бул тармакта белгилүү бир тажрыйбаны, ошондой эле атайын программалык камсыздоону талап кылат.

​

MEMS, айрыкча, акыркы бир нече ондогон жылдар ичинде, адатта, электроника жасоо үчүн колдонулган жарым өткөргүч түзүлүштөрдү жасоонун модификацияланган технологияларын колдонуу менен жасалгандан кийин практикалык болуп калды. Аларга калыптоо жана каптоо, нымдуу оюу (KOH, TMAH) жана кургак оюу (RIE жана DRIE), электрдик разрядды иштетүү (EDM), жука пленканы түшүрүү жана өтө кичинекей түзүлүштөрдү жасоого жөндөмдүү башка технологиялар кирет.

​

Эгер сизде жаңы MEMS концепциясы болсо, бирок атайын дизайн куралдарына жана/же туура тажрыйбага ээ болбосоңуз, биз сизге жардам бере алабыз. Дизайн, иштеп чыгуу жана даярдоодон кийин биз сиздин MEMS продуктуңуз үчүн ылайыкташтырылган тесттик жабдыктарды жана программалык камсыздоону иштеп чыга алабыз. Биз MEMS жасоого адистешкен бир катар түзүлгөн куюучу заводдор менен иштейбиз. 150 мм жана 200 мм пластиналар тең ISO/TS 16949 жана ISO 14001 катталган жана RoHS ылайыктуу чөйрөлөрдө иштетилет. Биз алдыңкы алдыңкы изилдөөлөрдү, дизайнды, иштеп чыгууларды, тестирлөөлөрдү, квалификацияны, прототиптерди жана жогорку көлөмдөгү коммерциялык өндүрүштү аткарууга жөндөмдүүбүз. Биздин инженерлер тажрыйбага ээ болгон кээ бир популярдуу MEMS түзмөктөрүнө төмөнкүлөр кирет:

​

• Акселерометрлер

• Гироскоптор/ Гирос

• Магнитометрлер

• Микрофондор

• Резонаторлор

• Оптикалык MEMS(мисалы, санариптик проекторлор, бардык оптикалык була-оптикалык өчүргүчтөр)

• MEMS кыймылдаткычтарыжана сенсорлор (мисалы, кыймыл сенсору, басым сенсору)

• RF которгучтары жана варакторлор

• Энергетикалык комбайндар

• Микроболометрлер

 

Кичинекей MEMS сенсорлору жана кыймылдаткычтары смартфондордо, планшеттерде, унааларда, проекторлордо жана башкаларда жаңы функцияларды иштетти. жана нерселердин Интернети (IoT) үчүн маанилүү. Башка жагынан алганда, MEMS адистештирилген инженердик кыйынчылыктарды, анын ичинде стандарттуу эмес өндүрүш процесстерин, көп физикалык өз ара аракеттенүүнү, IC менен интеграцияны жана бажы герметикалык таңгактоо талаптарын сунуштайт. MEMS үчүн атайын дизайн платформасы болбосо, MEMS продуктуну рынокко чыгаруу үчүн көп жылдар талап кылынат. Биз MEMSти долбоорлоодо жана иштеп чыгууда өнүккөн куралдарды колдонобуз. Tanner MEMS Дизайн бизге бирдиктүү чөйрөдө 3D MEMS дизайнын жана өндүрүшүн колдоону камсыз кылат жана MEMS түзмөктөрүн аналогдук/аралаш сигналды иштетүү схемасы менен бир эле IC боюнча интеграциялоону жеңилдетет. Бул механикалык, жылуулук, акустикалык, электрдик, электростатикалык, магниттик жана суюктук анализдер аркылуу MEMS түзмөктөрдүн өндүрүштүк жөндөмдүүлүгүн жогорулатат. Coventor башка программалык куралдары бизге MEMS дизайн, симуляция, текшерүү жана процессти моделдөө үчүн күчтүү платформаларды сунуштайт. Coventor платформасы көп физикалык өз ара аракеттешүүлөр, процесстин вариациялары, MEMS+IC интеграциясы, MEMS+пакеттердин өз ара аракеттешүүсү сыяктуу MEMSге тиешелүү инженердик көйгөйлөрдү чечет. Биздин MEMS инженерлери иш жүзүндө жасоого киришерден мурун түзмөктүн жүрүм-турумун жана өз ара аракеттенүүсүн моделдей алышат жана симуляциялай алышат жана бир нече саат же күн ичинде фабда адатта айлап курууга жана сыноого туура келген эффекттерди моделдей алышат. Биздин MEMS дизайнерлери колдонгон кээ бир өнүккөн куралдар төмөндөгүлөр.

 

Симуляциялар үчүн:

• Таннер MEMS Дизайн агымы насаатчыдан

• MEMS+, CoventorWare, Coventorдан SEMulator3D

• IntelliSense

• Comsol MEMS модулу

• ANSYS

 

Маскаларды тартуу үчүн:

• AutoCAD

• Вектордук иштер

• Макет редактору

 

Моделдөө үчүн:

• Solidworks

 

Эсептөөлөр, аналитикалык, сандык анализдер үчүн:

• Matlab

• MathCAD

• Математика

 

Төмөндө биз аткарган MEMS долбоорлоо жана өнүктүрүү иштеринин кыскача тизмеси келтирилген:

• Макеттен MEMS 3D моделин түзүңүз

• Дизайн эрежеси MEMS өндүрүмдүүлүгүн текшерүү

• MEMS түзүлүштөрүн жана IC дизайнын системалык деңгээлде симуляциялоо

• Толук катмар жана дизайн геометриясынын визуализациясы

• Параметрленген уячалар менен автоматтык түрдө калыптандыруу

• MEMS түзмөктөрүңүздүн жүрүм-турум моделдерин түзүү

• Масканын өркүндөтүлгөн схемасы жана текшерүү агымы

• DXF файлдарын экспорттоо   

​

МИКРОФЛУИДИКТЕР

Биздин микрофлюидикалык түзүлүштөрдү долбоорлоо жана иштеп чыгуу операциялары суюктуктардын аз көлөмдөрү иштетилген түзүлүштөрдү жана системаларды жасоого багытталган. Биз сиз үчүн микрофлюиддик түзүлүштөрдү долбоорлоо мүмкүнчүлүгүнө ээбиз жана сиздин тиркемелериңизге ылайыкташтырылган прототипти жана микроөндүрүштү сунуштайбыз. Микрофлюиддик түзүлүштөрдүн мисалдары микро-жүргүзүүчү түзүлүштөр, чипте лабораториялык системалар, микро-термикалык приборлор, сыя тийүүчү басып чыгаруу баштары жана башкалар. Микрофлюитикада биз суб-милиметрдик аймактарга чектелген суюктуктарды так көзөмөлдөө жана манипуляциялоо менен күрөшүүбүз керек. Суюктуктар жылдырылат, аралаштырылат, бөлүнөт жана иштетилет. Микрофлюиддик системаларда суюктуктар же кичинекей микронасостордун жана микроклапандардын жана ушул сыяктуулардын жардамы менен же капиллярдык күчтөрдү пассивдүү түрдө колдонуу менен жылдырылат жана башкарылат. Чипте лабораториялык системалар менен, адатта лабораторияда жүргүзүлүүчү процесстер натыйжалуулукту жана мобилдүүлүктү жогорулатуу, ошондой эле үлгүлөрдүн жана реагенттин көлөмүн азайтуу үчүн бир чипте кичирейтилген.

Микрофлюиддик түзүлүштөрдүн жана системалардын кээ бир негизги колдонмолору болуп төмөнкүлөр саналат:

​

- Чиптеги лабораториялар

- Дары-дармектерди текшерүү

- глюкоза тесттер

- Химиялык микрореактор

- микропроцессорду муздатуу

- Микро күйүүчү май клеткалары

- Белоктун кристаллдашуусу

- Дары-дармектер тез өзгөрөт, жалгыз клеткалардын манипуляциясы

- Бир клетканы изилдөө

- Оптофлюиддик микролинза массивдерин жөндөө

- микрогидравликалык жана микропневматикалык системалар (суюктук насостор,

газ клапандар, аралаштыруу системалары... ж.б.)

- Biochip эрте эскертүү системалары

- химиялык түрлөрүн аныктоо

- биоаналитикалык колдонмолор

- Чиптеги ДНК жана белок анализи

- Соплолорду чачуучу аппараттар

- бактерияларды аныктоо үчүн кварц агымынын клеткалары

- Эки же бир нече тамчы генерациялоочу чиптер

​

AGS-Engineering ошондой эле чакан масштабда газ жана суюк системалар жана буюмдар боюнча консалтинг, долбоорлоо жана продукт иштеп чыгууну сунуш кылат. Биз татаал агымдын жүрүм-турумун түшүнүү жана визуалдаштыруу үчүн өнүккөн Эсептөөчү суюктуктардын динамикасы (CFD) куралдарын, ошондой эле лабораториялык тесттерди колдонобуз. Биздин микрофлюидикалык инженерлер CFD куралдарын жана микроскопияны тешиктүү чөйрөлөрдөгү микро масштабдуу суюктуктарды ташуу кубулуштарын мүнөздөш үчүн колдонушкан. Биз ошондой эле изилдөө, долбоорлоо боюнча куюучу ишканалар менен тыгыз кызматташып жатабыз. Микрофлюиддик жана bioMEMS компоненттерин иштеп чыгуу жана камсыздоо. Биз сизге өз микрофлюиддик чиптериңизди иштеп чыгууга жана жасоого жардам бере алабыз. Биздин чипти долбоорлоо боюнча тажрыйбалуу командабыз сизге конкреттүү колдонмоңуз үчүн чакан лотторду жана көлөмдөгү микрофлюиддик микросхемаларды долбоорлоо, прототиптөө жана даярдоо аркылуу жардам бере алат. Пластмассадагы түзмөктөрдөн баштоо тез сыноо үчүн сунушталат, анткени PDMSдеги түзмөктөргө салыштырмалуу жасоого азыраак убакыт жана чыгым кетет. Биз PMMA, COC сыяктуу пластиктерде микрофлюиддик үлгүлөрдү жасай алабыз. PDMSде микрофлюиддик үлгүлөрдү түзүү үчүн биз фотолитографияны, андан кийин жумшак литографияны жасай алабыз. Биз металл чеберлерин чыгарабыз, биз жезден жана алюминийден үлгүлөрдү фрезерлейбиз. PDMS боюнча аппаратты жасоо жана пластмассадан жана металлдардан үлгүлөрдү жасоо бир нече жуманын ичинде бүтүшү мүмкүн. Биз суроо-талап боюнча пластмассадан жасалган үлгүлөр үчүн туташтыргычтарды, мисалы 1 мм порттун өлчөмүнө шайкеш келген порт туташтыргычтарын жана 360 микрон PEEK капиллярдык түтүктөрүн туташтыруу үчүн фитинг менен камсыз кыла алабыз. 0,5 мм ички диаметрдеги тигон түтүгүн суюктук порттору менен шприц насосунун ортосунда туташтыруу үчүн металл төөнөгүчтүү эркек мини люер берилиши мүмкүн. 100 мкл көлөмүндөгү суюктуктарды сактоочу резервуарлар. да берилиши мүмкүн. Эгер сизде дизайн бар болсо, сиз Autocad, .dwg же .dxf форматтарында тапшырсаңыз болот.

​

​