MEMS​

MEMS, ku ji bo Pergalên MicroElectroMechanical radiweste, mîkromakîneyên çîp ên piçûk in ku ji hêmanên mezinahiya 1 heta 100 mîkrometre pêk tên (mikrometrek mîlyonek metre ye) û cîhazên MEMS bi gelemperî di mezinahiya 20 mîkrometre de ne_cc781905-5cde-319136d3b5- (20 milyonan metre) heta milîmetreyekê. Piraniya cîhazên MEMS çend sed mîkron li ser hev in. Ew bi gelemperî ji yekîneyek navendî ya ku daneyan pêvajo dike pêk tên, mîkroprosesor û çend pêkhateyên ku bi derve re têkilî dikin wek mîkrosensoran. Di pîvanên weha piçûk de, qaîdeyên fizîkî yên klasîk her gav bikêr nabin. Ji ber rêjeya rûbera mezin a MEMS-ê ya berbi rêjeyê, bandorên rûkalê yên wekî elektrostatîk û şilbûnê li ser bandorên volume yên wekî bêhêzî an girseya termal serdest in. Ji ber vê yekê, sêwirandin û pêşkeftina MEMS di qadê de ezmûnek taybetî û her weha nermalava taybetî hewce dike ku van qaîdeyên fizîkî yên ne-klasîk dihesibîne.

​

MEMS bi taybetî di van çend dehsalên paşîn de pratîk bû piştî ku ew bi karanîna teknolojiyên çêkirina cîhaza nîvconduktorê guheztin, ku bi gelemperî ji bo çêkirina elektronîk têne bikar anîn, werin çêkirin. Di nav wan de şilkirin û veqetandin, xêzkirina şil (KOH, TMAH) û kişandina zuwa (RIE û DRIE), makîna dakêşana elektrîkê (EDM), depokirina fîlima zirav û teknolojiyên din ên ku dikarin amûrên pir piçûk çêkin hene.

​

Ger têgehek we ya nû ya MEMS heye lê ne xwediyê amûrên sêwiranê yên pispor û/an jî pisporiya rast in, em dikarin ji we re bibin alîkar. Piştî sêwirandin, pêşkeftin û çêkirinê em dikarin ji bo hilbera weya MEMS nermalava ceribandinê û nermalava xwerû pêşve bibin. Em bi hejmarek damezrênerên damezrandî yên pispor di çêkirina MEMS de dixebitin. Hem waferên 150mm û 200mm di bin ISO/TS 16949 û ISO 14001 qeydkirî û hawîrdorên RoHS de têne hilberandin. Em dikarin lêkolîn, sêwirandin, pêşkeftin, ceribandin, kalîtebûn, prototîp û her weha hilberîna bazirganî ya bi qebareya bilind pêk bînin. Hin amûrên populer ên MEMS yên ku endezyarên me di wan de xwedî ezmûn in ev in:

​

• Accelerometers

• Gîroskop/ Gyros

• Magnetometer

• Mîkrofon

• Resonators

• MEMSên optîkî(wek projektorên dîjîtal, hemî guheztina fiber optîk)

• MEMS Actuatorsû Sensor (wek senzora tevgerê, senora zextê)

• RF Switches & Varactors

• Harvesters Energy

• Mîkro-Bolometer

 

Sensor û aktîvatorên piçûk MEMS di têlefonên jîr, tablet, otomobîl, projektor…hwd de fonksiyonên nû çalak kirine. û ji bo Înterneta Tiştan (IoT) krîtîk in. Ji hêla din ve, MEMS kêşeyên endezyariyê yên pispor pêşkêşî dike, di nav de pêvajoyên çêkirina ne-standard, danûstendinên pir-fizîkî, entegrasyona bi IC-an, û hewcedariyên pakkirina hermetîk ên xwerû. Bêyî platformek sêwirana taybetî ya MEMS, bi gelemperî gelek sal digire ku hilberek MEMS bîne bazarê. Em amûrên pêşkeftî yên sêwirandin û pêşvebirina MEMS bikar tînin. Sêwirana Tanner MEMS ji me re piştgirîya sêwiran û çêkirinê ya 3D MEMS di yek jîngehek yekgirtî de dihêle, û yekkirina cîhazên MEMS-ê bi çerxa hilberandina analog/sînyala tevlihev li ser heman IC-ê hêsan dike. Ew hilberîna amûrên MEMS-ê bi analîzên mekanîkî, termal, akustîk, elektrîkî, elektrostatîk, magnetîkî û şilavê zêde dike. Amûrên nermalava din ên ji Coventor ji bo sêwirandin, simulasyon, verastkirin û modela pêvajoyê ya MEMS platformên hêzdar pêşkêşî me dikin. Platforma Coventor kêşeyên endezyariyê yên MEMS-ê yên wekî danûstendinên pir-fizîkî, guhertoyên pêvajoyê, yekbûna MEMS + IC, danûstendina MEMS + pakêtê vedigire. Endezyarên me yên MEMS dikarin beriya ku bi çêkirina rastîn re tevbigerin, tevger û danûstendinên cîhazê model bikin û simul bikin, û di demjimêr an rojan de, ew dikarin bandorên ku bi gelemperî di fabrîkayê de bi mehan çêkirin û ceribandinê bikirana model an simul bikin. Hin amûrên pêşkeftî ku sêwiranerên me yên MEMS bikar tînin ev in.

 

Ji bo simulasyonan:

• Tanner MEMS Design Flow ji Mentor

• MEMS +, CoventorWare, SEMulator3D ji Coventor

• IntelliSense

• Comsol MEMS Modula

• ANSYS

 

Ji bo xêzkirina maskeyan:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Edîtorê Layout

 

Ji bo modelkirinê:

• Solidworks

 

Ji bo hesabên, analîtîk, analîzên hejmarî:

• Matlab

• MathCAD

• Mathematica

 

Ya jêrîn navnîşek kurt a xebata sêwirandin û pêşkeftina MEMS ku em pêk tînin heye:

• Ji sêwiranê modelek MEMS 3D biafirînin

• Kontrolkirina qaîdeya sêwiranê ji bo hilberîna MEMS

• Simulasyona asta pergalê ya amûrên MEMS û sêwirana IC

• Dîmenbarkirina geometriya qat û sêwiranê ya temam

• Hilberîna sêwirana otomatîkî ya bi şaneyên parameterkirî

• Nifşa modelên behrê yên cîhazên we yên MEMS

• Plansaziya maskê ya pêşkeftî û herikîna verastkirinê

• Hinardekirina pelên DXF   

​

MICROFLUIDICS

Operasyonên meyên sêwirandin û pêşkeftina cîhaza mîkrofluîdîk bi mebesta çêkirina amûr û pergalên ku tê de cildên piçûk ên şilî têne hilberandin têne kirin. Kapasîteya me heye ku em ji we re amûrên mîkrofluîdî dîzayn bikin û prototîp û mîkroçêkirina xwerû ya ku ji bo serîlêdanên we hatî çêkirin pêşkêşî bikin. Nimûneyên amûrên mîkrofluîdîk cîhazên mîkro-propulsion, pergalên laboratîf-li-çîp, cîhazên mîkro-termal, serikên çapkirinê yên inkjet û hêj bêtir in. Di mîkrofluîdîkê de pêdivî ye ku em bi kontrol û manîpulekirina rast a şilavên ku li herêmên jêr-milimeter têne sînordar kirin re mijûl bibin. Fluid têne veguhestin, tevlihev, ji hev veqetandin û hilberandin. Di pergalên mîkrofluîdîk de şilî têne gerandin û kontrol kirin an bi aktîvî bi karanîna mîkropompên piçûk û mîkrovalves û yên mîna wan an jî bi pasîf sûdwergirtina ji hêzên kapîlar têne girtin. Digel pergalên laboratuar-li-çîpekê, pêvajoyên ku bi gelemperî di laboratuarekê de têne kirin, li ser çîpek yekane têne piçûk kirin da ku karbidestî û tevgerê zêde bikin û her weha hêjmarên nimûne û reagentê kêm bikin.

Hin serîlêdanên sereke yên cîhaz û pergalên mîkrofluîdîk ev in:

​

- Laboratoryên li ser çîpê

- Kontrolkirina narkotîkê

- Testên glukozê

- Mîkroreaktora kîmyewî

- sarbûna mîkroprosesor

- Hucreyên sotemeniyê yên mîkro

- Krîstalîzasyona proteînê

- Guherîna dermanên bilez, manîpulasyona hucreyên yekane

- Lêkolînên hucreya yekane

- Rêzikên mîkrolensên optofluidîk ên ku têne guheztin

- Pergalên mîkrohîdraulîk û mîkropneumatîk (pompên şil,

valavên gazê, pergalên tevlihevkirinê…hwd)

- Pergalên hişyariya zû Biochip

- Tespîtkirina cureyên kîmyewî

- Serîlêdanên biyoanalîtîk

- Analîzkirina DNA û proteînê li ser-çîpê

- Amûrên spreya nozzle

- Hucreyên herikîna quartz ji bo tespîtkirina bakteriyan

- Çîpên nifşê dualî an pirjimar

​

AGS-Engineering di heman demê de şêwirdarî, sêwirandin û pêşkeftina hilberan di pergal û hilberên gaz û şil de, di pîvanên piçûk de, pêşkêşî dike. Em amûrên pêşkeftî yên Dînamîkên Herikîna Hêza Hesabkirinê (CFD) û her weha ceribandina laboratîfê bikar tînin da ku behreya herikîna tevlihev fam bikin û xuyang bikin. Endezyarên meyên mîkrofluîdîkê amûrên CFD û mîkroskopî bikar anîne da ku diyardeya veguheztina şilavê ya mîkropîvan a di medyaya poroz de diyar bikin. Di heman demê de ji bo lêkolîn, sêwirandin jî hevkariya me ya nêzîk bi kerxane re heye. Hêmanên mîkrofluîdîk & bioMEMS pêşve bibin û peyda bikin. Em dikarin ji we re bibin alîkar ku hûn çîpên mîkrofluîdî yên xwe sêwirandin û çêkin. Tîma meya sêwirana çîpê ya xwedî ezmûn dikare ji we re di sêwirandin, prototîpkirin û çêkirina gelek piçûk û hêjmarên çîpên mîkrofluîdîk ên ji bo serîlêdana weya taybetî de bibe alîkar. Destpêkirina bi cîhazên li ser plastîkê ji bo ceribandinên bilez tê pêşniyar kirin ji ber ku ew ji bo çêkirinê li gorî amûrên li ser PDMS-ê kêmtir dem û lêçûn digire. Em dikarin li ser plastîkên wekî PMMA, COC qalibên Microfluidic çêkin. Em dikarin fotolîtografî li dû lîtografiya nerm bikin da ku li ser PDMS qalibên mîkrofluîdîk biafirînin. Em axayên metal hilberînin, em bi şikilandina qalibên li ser Brass û Aluminum in. Çêkirina amûrê li ser PDMS û çêkirina qalibên li ser plastîk û metalan dikare di nav çend hefteyan de were qedandin. Em dikarin li gorî daxwazê ji bo qalibên ku li ser plastîk têne çêkirin, wekî girêdanek portê ku ji bo mezinahiya porta 1 mm lihevhatî ye û pêvekirina girêdana boriyên kapîlar ên 360 mîkron PEEK peyda bikin. Mini luer-a mêr a bi kombûna pîneya metalî dikare were peyda kirin da ku lûleya tygon a bi dirêjahiya hundurê 0,5 mm di navbera portên şilavê û pompeya sirincê de girêbide. Depoyên hilanînê yên bi kapasîteya 100 μl. jî dikare were pêşkêş kirin. Ger jixwe sêwiranek we hebe, hûn dikarin bi formatên Autocad, .dwg an .dxf bişînin.

​

​