MEMS​

MicroElectroMechanical Systems дегенді білдіретін MEMS өлшемдері 1-ден 100 микрометрге дейінгі (микрометр метрдің миллионнан бір бөлігі) құрамдас бөліктерден тұратын шағын чип масштабты микромашиналар және MEMS құрылғыларының өлшемдері әдетте 20 микрометрден басталады_cc781905-5cde-3194-bb3651f- (метрдің 20 миллионнан бір бөлігі) миллиметрге дейін. MEMS құрылғыларының көпшілігі бірнеше жүз микроннан тұрады. Олар әдетте деректерді өңдейтін орталық блоктан, микропроцессордан және микросенсорлар сияқты сыртпен әрекеттесетін бірнеше компоненттерден тұрады. Мұндай шағын өлшемдерде классикалық физика ережелері әрқашан пайдалы бола бермейді. MEMS бетінің көлеміне қатынасының үлкен болуына байланысты, электростатика және сулану сияқты беттік әсерлер инерция немесе жылу массасы сияқты көлемдік әсерлер басым болады. Сондықтан, MEMS дизайны мен дамуы осы саладағы нақты тәжірибені, сондай-ақ осы классикалық емес физика ережелерін ескеретін арнайы бағдарламалық жасақтаманы қажет етеді.

​

MEMS әсіресе соңғы бірнеше онжылдықта олар әдетте электрониканы жасау үшін қолданылатын модификацияланған жартылай өткізгіш құрылғыларды жасау технологиялары арқылы жасалуы мүмкін болғаннан кейін практикалық болды. Оларға қалыптау және қаптау, дымқыл ою (KOH, TMAH) және құрғақ ою (RIE және DRIE), электр разрядты өңдеу (EDM), жұқа қабықшаны тұндыру және өте кішкентай құрылғыларды жасауға қабілетті басқа технологиялар кіреді.

​

Егер сізде жаңа MEMS тұжырымдамасы болса, бірақ арнайы дизайн құралдарына және/немесе дұрыс тәжірибесіне ие болмасаңыз, біз сізге көмектесе аламыз. Жобалау, әзірлеу және жасаудан кейін біз MEMS өнімі үшін теңшелген сынақ аппараттық және бағдарламалық қамтамасыз етуді жасай аламыз. Біз MEMS өндірісіне маманданған бірқатар қалыптасқан құю зауыттарымен жұмыс істейміз. 150 мм және 200 мм пластиналар ISO/TS 16949 және ISO 14001 тіркелген және RoHS үйлесімді орталарда өңделеді. Біз алдыңғы қатарлы зерттеулерді, дизайнды, әзірлеуді, тестілеуді, біліктілікті, прототиптерді, сондай-ақ жоғары көлемді коммерциялық өндірісті орындауға қабілеттіміз. Біздің инженерлердің тәжірибесі бар кейбір танымал MEMS құрылғылары мыналарды қамтиды:

​

• Акселерометрлер

• Гироскоптар/ Гиростар

• Магнитометрлер

• Микрофондар

• Резонаторлар

• Оптикалық MEMS(сандық проекторлар, барлық оптикалық талшықты оптикалық қосқыштар сияқты)

• MEMS жетектеріжәне сенсорлар (қозғалыс сенсоры, қысым сенсоры сияқты)

• РЖ қосқыштары және варакторлар

• Энергия жинағыштар

• Микроболометрлер

 

Кішкентай MEMS сенсорлары мен жетектері смартфондарда, планшеттерде, автомобильдерде, проекторларда және т.б. жаңа функцияларды іске қосты. және заттар интернеті (IoT) үшін өте маңызды. Екінші жағынан, MEMS стандартты емес өндіріс процестерін, көп физикалық өзара әрекеттесулерді, IC-мен интеграцияны және реттелетін герметикалық қаптама талаптарын қоса, мамандандырылған инженерлік қиындықтарды ұсынады. MEMS арнайы дизайн платформасы болмаса, MEMS өнімін нарыққа шығару үшін көп жылдар қажет. Біз MEMS құрастыру және әзірлеу үшін жетілдірілген құралдарды қолданамыз. Tanner MEMS Design бізге біртұтас ортада 3D MEMS дизайны мен өндірісін қолдауға мүмкіндік береді және MEMS құрылғыларын аналогтық/аралас сигналды өңдеу схемасымен бір IC-де біріктіруді жеңілдетеді. Ол механикалық, термиялық, акустикалық, электрлік, электростатикалық, магниттік және сұйықтықты талдау арқылы MEMS құрылғыларының өндіріс қабілетін арттырады. Coventor басқа бағдарламалық құралдары бізге MEMS дизайны, модельдеу, тексеру және процесті модельдеу үшін қуатты платформаларды ұсынады. Coventor платформасы көп физикалық өзара әрекеттесулер, процестің вариациялары, MEMS+IC интеграциясы, MEMS+пакет өзара әрекеттесуі сияқты MEMS-ке тән инженерлік қиындықтарды шешеді. Біздің MEMS инженерлері нақты өндіріске кіріспес бұрын құрылғының әрекеті мен өзара әрекеттесуін модельдей алады және модельдей алады және сағаттар немесе күндер ішінде олар әдетте зауытта бірнеше айлар салу және сынау қажет болатын әсерлерді модельдей алады немесе модельдей алады. Біздің MEMS дизайнерлері қолданатын кейбір жетілдірілген құралдар төмендегілер.

 

Модельдеу үшін:

• Ментордан Tanner MEMS Design Flow

• MEMS+, CoventorWare, Coventor ұсынған SEMulator3D

• IntelliSense

• Comsol MEMS модулі

• ANSYS

 

Маскаларды салу үшін:

• AutoCAD

• Векторлық жұмыстар

• Орналасу редакторы

 

Модельдеу үшін:

• Solidworks

 

Есептер, аналитикалық, сандық талдаулар үшін:

• Matlab

• MathCAD

• Математика

 

Төменде біз орындайтын MEMS жобалау және әзірлеу жұмыстарының қысқаша тізімі берілген:

• Орналасудан MEMS 3D үлгісін жасаңыз

• MEMS өндіру мүмкіндігін жобалау ережесін тексеру

• MEMS құрылғыларын және IC дизайнын жүйелік деңгейде модельдеу

• Толық қабат және дизайн геометриясының визуализациясы

• Параметрленген ұяшықтармен орналасуды автоматты түрде жасау

• MEMS құрылғыларыңыздың мінез-құлық үлгілерін жасау

• Жетілдірілген маска орналасуы және тексеру ағыны

• DXF файлдарын экспорттау   

​

МИКРОФЛУИДИКТЕР

Біздің микрофлюидикалық құрылғыларды жобалау және әзірлеу операциялары сұйықтықтардың шағын көлемін өңдейтін құрылғылар мен жүйелерді жасауға бағытталған. Бізде сіз үшін микрофлюидтік құрылғыларды жобалау мүмкіндігі бар және қолданбаларыңыз үшін бейімделген прототиптеу және микроөндірісті ұсыну мүмкіндігі бар. Микрофлюидтік құрылғылардың мысалдары микро-қозғағыш құрылғылар, чиптегі зертханалық жүйелер, микро-термиялық құрылғылар, сия бүріккіш басып шығару механизмдері және т.б. Микрофлюитикада біз миллиметрден төмен аймақтарға шектелген сұйықтықтарды нақты бақылау және манипуляциялаумен айналысуымыз керек. Сұйықтықтар қозғалады, араласады, бөлінеді және өңделеді. Микрофлюидтік жүйелерде сұйықтықтар кішкентай микросорғылар мен микроклапандар арқылы белсенді түрде қозғалады және басқарылады немесе капиллярлық күштерді пассивті түрде пайдаланады. Чиптегі зертханалық жүйелерде әдетте зертханада орындалатын процестер тиімділік пен ұтқырлықты арттыру, сондай-ақ үлгі мен реагент көлемін азайту үшін бір чипте кішірейтілген.

Микрофлюидтік құрылғылар мен жүйелердің кейбір негізгі қолданбалары:

​

- Чиптегі зертханалар

- Дәрілік заттардың скринингі

- глюкоза сынағы

- Химиялық микрореактор

- микропроцессорды салқындату

- Микроотын элементтері

- ақуыздың кристалдануы

- Дәрілердің тез өзгеруі, жалғыз жасушалардың манипуляциясы

- Бір жасушаны зерттеу

- Бапталатын оптикалық сұйықтық микролинза массивтері

- микрогидравликалық және микропневматикалық жүйелер (сұйық сорғылар,

газ клапандары, араластыру жүйелері... және т.б.)

- Biochip ерте ескерту жүйелері

- Химиялық түрлерді анықтау

- биоаналитикалық қолданбалар

- Чиптегі ДНҚ және ақуызды талдау

- Бүріккіш шашатын құрылғылар

- Бактерияларды анықтауға арналған кварц ағынының жасушалары

- Қос немесе бірнеше тамшы генерациялау чиптері

​

AGS-Engineering сонымен қатар шағын көлемде газ және сұйық жүйелер мен өнімдерде консалтинг, дизайн және өнімді әзірлеуді ұсынады. Біз күрделі ағын әрекетін түсіну және визуализациялау үшін есептеу сұйықтығының динамикасының (CFD) жетілдірілген құралдарын, сондай-ақ зертханалық сынақтарды қолданамыз. Біздің микрофлюидикалық инженерлер кеуекті ортадағы микромасштабтағы сұйықтықты тасымалдау құбылыстарын сипаттау үшін CFD құралдарын және микроскопияны қолданды. Біз сондай-ақ құю зауыттарымен ғылыми-зерттеу, жобалау бойынша тығыз ынтымақтасамыз. Микрофлюидтік және bioMEMS компоненттерін әзірлеу және жеткізу. Біз сізге жеке микрофлюидтік чиптерді жобалауға және жасауға көмектесеміз. Біздің тәжірибелі чиптерді жобалау тобы сізге арнайы қолданбаңыз үшін шағын лоттар мен көлемді микрофлюидтік чиптерді жобалау, прототиптеу және жасау арқылы көмектесе алады. Пластмассадағы құрылғылардан бастау жылдам сынақтар үшін ұсынылады, өйткені PDMS құрылғыларындағы құрылғылармен салыстырғанда дайындауға аз уақыт пен шығын кетеді. Біз PMMA, COC сияқты пластиктерде микрофлюидтік үлгілерді жасай аламыз. PDMS-те микрофлюидтік үлгілерді жасау үшін біз фотолитографияны, содан кейін жұмсақ литографияны жасай аламыз. Біз металл шеберлерін шығарамыз, біз жезден және алюминийден өрнектерді фрезерлеу арқылы шығарамыз. PDMS-те құрылғыны жасау және пластмассалар мен металдарға үлгілерді жасау бірнеше апта ішінде аяқталуы мүмкін. Сұраныс бойынша біз пластмассадан жасалған үлгілер үшін қосқыштарды, мысалы, 1 мм порт өлшеміне сәйкес келетін порт қосқыштарын және 360 микрон PEEK капиллярлық түтіктерді қосуға арналған фитингпен қамтамасыз ете аламыз. Ішкі диаметрі 0,5 мм тигон түтігін сұйықтық порттары мен шприц сорғысының арасында қосу үшін металл түйреуіш жинағы бар ер шағын люерді беруге болады. Сыйымдылығы 100 мкл сұйықтықты сақтауға арналған резервуарлар. қамтамасыз етуге де болады. Егер сізде дизайн бар болса, Autocad, .dwg немесе .dxf пішімінде жіберуге болады.

​

​