ЖАРТЫ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДЫ ЖОБАУ

Біздің жартылай өткізгіш материалды жобалау инженерлері іргелі физика деңгейінде жартылай өткізгіш құрылғы жұмысын талдау үшін арнайы құралдарды қамтамасыз ететін арнайы бағдарламалық модульдерді пайдаланады. Мұндай модульдер изотермиялық немесе изотермиялық емес тасымалдау модельдерін пайдалана отырып, дрейф-диффузия теңдеулеріне негізделген. Мұндай бағдарламалық құралдар биполярлы транзисторларды (BJTs), металл жартылай өткізгішті өрістік транзисторларды (MESFETs), металл оксиді-жартылай өткізгішті өрістік транзисторларды (MOSFETs), оқшауланған биполярлы транзисторларды () қоса алғанда, практикалық құрылғылардың ауқымын модельдеу үшін пайдалы. IGBT), Шоттки диодтары және PN түйіспелері. Жартылай өткізгіш құрылғының өнімділігінде мультифизикалық әсерлер маңызды рөл атқарады. Осындай қуатты бағдарламалық құралдардың көмегімен біз бірнеше физикалық әсерлерді қамтитын модельдерді оңай жасай аламыз. Мысалы, қуат құрылғысындағы жылу әсерлерін жылу тасымалдағыш физикасы интерфейсі арқылы модельдеуге болады. Оптикалық ауысуларды күн батареялары, жарық шығаратын диодтар (жарық диодтар) және фотодиодтар (PDs) сияқты құрылғылардың ауқымын имитациялау үшін қосуға болады. Біздің жартылай өткізгіш бағдарламалық құрал ұзындығы 100 нм немесе одан да көп шкалалары бар жартылай өткізгіш құрылғыларды модельдеу үшін пайдаланылады. Бағдарламалық қамтамасыз етуде бірқатар физика интерфейстері бар – физикалық теңдеулер мен шекаралық шарттар жиынтығын сипаттау үшін модельдік кірістерді қабылдауға арналған құралдар, мысалы, жартылай өткізгіш құрылғылардағы электрондар мен саңылаулардың тасымалдануын, олардың электростатикалық мінез-құлқын модельдеуге арналған интерфейстер және т.б. Жартылай өткізгіш интерфейсі Пуассон теңдеуін электронды және саңылау заряд тасымалдаушы концентрациялары үшін үздіксіздік теңдеулерімен бірге шешеді. Модельді соңғы көлем әдісімен немесе ақырлы элементтер әдісімен шешуді таңдай аламыз. Интерфейс омдық контактілер, Шоттки контактілері, қақпалар және электростатикалық шекаралық жағдайлардың кең ауқымы үшін шекаралық шарттардан басқа жартылай өткізгіш және оқшаулағыш материалдарға арналған материалдық үлгілерді қамтиды. Интерфейс ішіндегі мүмкіндіктер қозғалғыштық қасиетін сипаттайды, өйткені ол материал ішіндегі тасымалдаушылардың шашырауымен шектеледі. Бағдарламалық құрал бірнеше алдын ала анықталған ұтқырлық үлгілерін және пайдаланушы анықтайтын пайдаланушы ұтқырлық үлгілерін жасау опциясын қамтиды. Модельдердің осы екі түрін де ерікті түрде біріктіруге болады. Әрбір мобильділік моделі шығыс электроны мен саңылаулардың қозғалғыштығын анықтайды. Шығу ұтқырлығын басқа ұтқырлық үлгілеріне кіріс ретінде пайдалануға болады, ал теңдеулер ұтқырлықты біріктіру үшін пайдаланылуы мүмкін. Интерфейс сонымен қатар жартылай өткізгіш доменге Auger, Direct және Shockley-Read Hall рекомбинациясын қосу мүмкіндіктерін қамтиды немесе жеке рекомбинация жылдамдығын көрсетуге мүмкіндік береді. Жартылай өткізгіш құрылғыларды модельдеу үшін допингтің таралуын нақтылау қажет. Біздің бағдарламалық құрал мұны істеу үшін допинг үлгісі мүмкіндігін береді. Тұрақты, сондай-ақ біз анықтаған допинг профилін көрсетуге болады немесе шамамен Гаусс допинг профилін пайдалануға болады. Біз деректерді сыртқы көздерден де импорттай аламыз. Бағдарламалық құралымыз жақсартылған Электростатика мүмкіндіктерін ұсынады. Материалдық деректер базасы бірнеше материалдарға арналған қасиеттері бар.

 

TCAD және ҚҰРЫЛҒЫ TCAD ӨҢДЕУ

Компьютерлік дизайн технологиясы (TCAD) жартылай өткізгіштерді өңдеу технологиялары мен құрылғыларын әзірлеу және оңтайландырудың компьютерлік модельдеулерін пайдалануды білдіреді. Өндірістің модельдеу процесі TCAD деп аталады, ал құрылғы жұмысын модельдеу Device TCAD деп аталады. TCAD процесі мен құрылғыны модельдеу құралдары CMOS, қуат, жад, кескін сенсорлары, күн батареялары және аналогтық/RF құрылғылары сияқты қолданбалардың кең ауқымын қолдайды. Мысал ретінде, егер сіз жоғары тиімді күрделі күн батареяларын жасауды ойласаңыз, коммерциялық TCAD құралын қарастыру әзірлеу уақытын үнемдеуге және қымбат сынақ өндірісінің санын азайтуға мүмкіндік береді. TCAD өнімділік пен кірістілікке әсер ететін негізгі физикалық құбылыстар туралы түсінік береді. Дегенмен, TCAD пайдалану бағдарламалық құрал құралдарын сатып алуды және лицензиялауды, TCAD құралын үйренуге уақытты және одан да кәсіби әрі құралды еркін меңгеруді талап етеді. Бұл бағдарламалық құралды тұрақты немесе ұзақ мерзімді негізде пайдаланбайтын болсаңыз, бұл өте қымбат және қиын болуы мүмкін. Мұндай жағдайларда біз сізге осы құралдарды күнделікті қолданатын инженерлеріміздің қызметін ұсынуға көмектесе аламыз. Қосымша ақпарат алу үшін бізге хабарласыңыз.

 

ЖАРТЫ ӨТКІЗГЕН ПРОЦЕСТЕРДІ ЖОБАУ

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолданылатын жабдықтар мен процестердің көптеген түрлері бар. Нарықта ұсынылатын «кілт» жүйесін сатып алу туралы ойлану оңай және жақсы идея емес. Қолдану және қарастырылған материалдарға байланысты жартылай өткізгішті күрделі жабдықты мұқият таңдау және өндірістік желіге біріктіру қажет. Жартылай өткізгіш құрылғыларды өндірушіге өндірістік желіні құру үшін жоғары мамандандырылған және тәжірибелі инженерлер қажет. Біздің ерекше технологиялық инженерлер сіздің бюджетіңізге сәйкес келетін прототиптеу немесе жаппай өндіріс желісін жобалау арқылы сізге көмектесе алады. Біз сіздің үміттеріңізге сәйкес келетін ең қолайлы процестер мен жабдықты таңдауға көмектесеміз. Біз сізге белгілі бір жабдықтың артықшылықтарын түсіндіреміз және прототиптеу немесе жаппай өндіріс желісін құрудың барлық кезеңдерінде көмектесеміз. Біз сізді ноу-хау бойынша оқытып, желіні басқаруға дайындай аламыз. Мұның бәрі сіздің қажеттіліктеріңізге байланысты. Біз жағдай бойынша ең жақсы шешімді тұжырымдай аламыз. Жартылай өткізгішті құрылғыларды өндіруде қолданылатын жабдықтың кейбір негізгі түрлері фотолитографиялық құралдар, тұндыру жүйелері, сызу жүйелері, әртүрлі сынақ және сипаттама құралдары……. Бұл құралдардың көпшілігі елеулі инвестициялар болып табылады және корпорациялар қате шешімдерге, әсіресе бірнеше сағаттық үзілістердің өзі жойқын болуы мүмкін фабрикаларға шыдай алмайды. Көптеген қондырғылардың алдында тұруы мүмкін қиындықтардың бірі олардың зауыттық инфрақұрылымының жартылай өткізгіш технологиялық жабдықты орналастыруға жарамды болуын қамтамасыз ету болып табылады. Белгілі бір жабдықты немесе кластерлік құралды орнату туралы нақты шешім қабылдамас бұрын көп нәрсені мұқият қарап шығу керек, оның ішінде таза бөлменің ағымдағы деңгейі, қажет болған жағдайда таза бөлмені жаңарту, электр және прекурсорлық газ желілерін жоспарлау, эргономия, қауіпсіздік. , операциялық оңтайландыру….т.б. Бұл инвестицияларға кіріспес бұрын алдымен бізбен сөйлесіңіз. Сіздің жоспарларыңыз бен жобаларыңызды біздің тәжірибелі жартылай өткізгіштер фабрикасының инженерлері мен менеджерлері қарап шығуы сіздің іскерлік бастамаларыңызға тек оң ықпал етеді.

 

ЖАРТЫ ӨТКІЗГІШ МАТЕРИАЛДАР МЕН ҚҰРЫЛҒЫЛАРДЫ СЫНАУ

Жартылай өткізгішті өңдеу технологияларына ұқсас, жартылай өткізгіш материалдар мен құрылғыларды сынау және QC жоғары мамандандырылған жабдықты және инженерлік ноу-хауды қажет етеді. Біз осы салада өз клиенттерімізге белгілі бір қолданба үшін ең жақсы және ең үнемді болып табылатын сынақ және метрологиялық жабдықтың түрі бойынша сарапшылық нұсқау беру және консультация беру, тұтынушы мекемесіндегі инфрақұрылымның жарамдылығын анықтау және тексеру арқылы қызмет көрсетеміз….. т.б. Таза бөлменің ластану деңгейі, едендегі діріл, ауа айналымының бағыттары, адамдардың қозғалысы және т.б. барлығын мұқият бағалау және бағалау қажет. Біз сондай-ақ үлгілерді өз бетінше тексере аламыз, егжей-тегжейлі талдау жасай аламыз, ақаулықтың негізгі себебін анықтай аламыз ... және т.б. сыртқы келісімшарттық қызмет жеткізушісі ретінде. Прототипті сынаудан бастап толық ауқымды өндіріске дейін біз сізге бастапқы материалдардың тазалығын қамтамасыз етуге көмектесеміз, әзірлеу уақытын қысқартуға және жартылай өткізгіштерді өндіру ортасында өнімділік мәселелерін шешуге көмектесеміз.

 

Біздің жартылай өткізгіш инженерлеріміз жартылай өткізгіш процесс пен құрылғыны жобалау үшін келесі бағдарламалық құрал мен модельдеу құралдарын пайдаланады:

• ANSYS RedHawk / Q3D Extractor / Totem / PowerArtist

• MicroTec SiDif / SemSim / SibGraf

• COMSOL жартылай өткізгіш модулі

 

Бізде жартылай өткізгішті материалдар мен құрылғыларды әзірлеу және сынау үшін кеңейтілген зертханалық жабдықтардың кең спектріне қол жеткізе аламыз, соның ішінде:

• Екінші иондық масс-спектрометрия (SIMS), ұшу уақыты SIMS (TOF-SIMS)

• Трансмиссиялық электронды микроскопия – сканерлеуші трансмиссиялық электрондық микроскопия (TEM-STEM)

• Сканерлеуші электронды микроскопия (SEM)

• Рентгендік фотоэлектрондық спектроскопия – Химиялық талдауға арналған электронды спектроскопия (XPS-ESCA)

• Гель өткізгіштік хроматографиясы (GPC)

• Жоғары өнімді сұйықтық хроматографиясы (HPLC)

• Газ хроматографиясы – Масс-спектрометрия (GC-MS)

• Индуктивті байланысқан плазмалық масс-спектрометрия (ICP-MS)

• Жарқыраудың массалық спектрометриясы (GDMS)

• Лазерлік абляция индуктивті байланысқан плазмалық масс-спектрометрия (LA-ICP-MS)

• Сұйық хроматографиялық масс-спектрометрия (LC-MS)

• Аугер электронды спектроскопиясы (AES)

• Энергиялық дисперсиялық спектроскопия (EDS)

• Фурье түрлендіру инфрақызыл спектроскопиясы (FTIR)

• Электрондық энергияны жоғалту спектроскопиясы (EELS)

• Индуктивті байланысқан плазмалық оптикалық эмиссия спектроскопиясы (ICP-OES)

• Раман

• Рентген сәулелерінің дифракциясы (XRD)

• Рентгендік флуоресценция (XRF)

• Атомдық күш микроскопиясы (AFM)

• Қос сәуле - Фокусталған иондық сәуле (Қос сәуле – FIB)

• Электрондық кері шашырау дифракциясы (EBSD)

• Оптикалық профилометрия

• Қалдық газды талдау (RGA) және ішкі су буының мазмұны

• Аспаптық газ талдауы (IGA)

• Резерфордтың кері шашырау спектрометриясы (RBS)

• Толық шағылысу рентгендік флуоресценция (TXRF)

• Айналым рентген сәулелерінің шағылысуы (XRR)

• Динамикалық механикалық талдау (DMA)

• MIL-STD талаптарына сәйкес келетін деструктивті физикалық талдау (DPA).

• Дифференциалды сканерлеу калориметриясы (DSC)

• Термогравиметриялық талдау (TGA)

• Термомеханикалық талдау (TMA)

• Нақты уақыттағы рентген сәулесі (RTX)

• Сканерлеуші акустикалық микроскопия (SAM)

• Электрондық қасиеттерді бағалауға арналған тесттер

• Физикалық және механикалық сынақтар

• Қажет болған жағдайда басқа термиялық сынақтар

• Экологиялық палаталар, қартаю сынақтары

 

Жартылай өткізгіштерде және олардан жасалған құрылғыларда орындайтын жалпы сынақтардың кейбірі:

• Жартылай өткізгіш пластиналардағы беттік металдардың мөлшерін анықтау арқылы тазалау тиімділігін бағалау

• Жартылай өткізгіш құрылғылардағы із деңгейіндегі қоспаларды және бөлшектердің ластануын анықтау және табу

• Жұқа пленкалардың қалыңдығын, тығыздығын және құрамын өлшеу

• Қоспаның дозасы мен профиль пішінінің сипаттамасы, көлемді қоспалар мен қоспалардың мөлшерін анықтау

• ИК-тің көлденең қимасының құрылымын тексеру

• Жартылай өткізгішті микроқұрылғыдағы матрицалық элементтердің екі өлшемді картасын сканерлеу трансмиссиялық электрондық микроскопия-электрондық энергияны жоғалту спектроскопиясы (STEM-EELS) арқылы

• Auger Electron Spectroscopy (FE-AES) көмегімен интерфейстердегі ластануды анықтау

• Беттік морфологияны көрнекі және сандық бағалау

• Вафельді тұманды және түссізденуді анықтау

• Өндіріс және әзірлеу үшін ATE инжиниринг және тестілеу

• Жартылай өткізгіш өнімді сынау, IC жарамдылығын қамтамасыз ету үшін жану және сенімділік біліктілігі