HÖNNUN HÁLFleiðara Efnis

Hönnunarverkfræðingar okkar fyrir hálfleiðaraefni nota sérstakar hugbúnaðareiningar sem bjóða upp á sérstök verkfæri til að greina virkni hálfleiðaratækja á grunneðlisfræðistigi. Slíkar einingar eru byggðar á rek-dreifingarjöfnunum, með því að nota jafnhita eða ójafnhita flutningslíkön. Slík hugbúnaðarverkfæri eru gagnleg til að líkja eftir ýmsum hagnýtum tækjum, þar á meðal tvískauta smára (BJT), málmhálfleiðara sviðsáhrif smára (MESFET), málm-oxíð-hálfleiðara sviðsáhrif smára (MOSFET), tvískauta smára með einangruðum hliðum ( IGBT), Schottky díóða og PN mótum. Fjöleðlisfræðileg áhrif gegna mikilvægu hlutverki í frammistöðu hálfleiðaratækja. Með svo öflugum hugbúnaðarverkfærum getum við auðveldlega búið til líkön sem fela í sér mörg líkamleg áhrif. Til dæmis er hægt að líkja eftir hitauppstreymi innan rafmagnstækis með því að nota hitaflutnings eðlisfræðiviðmót. Hægt er að setja optískar umbreytingar til að líkja eftir ýmsum tækjum eins og sólarsellum, ljósdíóðum (LED) og ljósdíóðum (PD). Hálfleiðarahugbúnaðurinn okkar er notaður til að móta hálfleiðaratæki með lengdarkvarða upp á 100 nm eða meira. Innan hugbúnaðarins er fjöldi eðlisfræðiviðmóta – verkfæri til að taka á móti líkaninntak til að lýsa safni eðlisjafna og jaðarskilyrða, svo sem viðmót til að móta flutning rafeinda og hola í hálfleiðaratækjum, rafstöðueiginleika þeirra ... osfrv. Hálfleiðaraviðmótið leysir jöfnu Poissons í tengslum við samfellujöfnur fyrir bæði rafeinda- og holuhleðsluburðarstyrk beinlínis. Við getum valið að leysa líkan með endanlegu rúmmálsaðferðinni eða endanlegu frumefnisaðferðinni. Viðmótið inniheldur efnislíkön fyrir hálfleiðandi og einangrandi efni, auk jaðarskilyrða fyrir óómíska snerti, Schottky tengiliði, hlið og margs konar rafstöðueiginleikar. Eiginleikar innan viðmótsins lýsa hreyfanleikaeiginleikum þar sem hann takmarkast af dreifingu burðarefna innan efnisins. Hugbúnaðartólið inniheldur nokkur fyrirframskilgreind hreyfanleikalíkön og möguleika á að búa til sérsniðin, notendaskilgreind hreyfanleikalíkön. Hægt er að sameina báðar þessar gerðir af gerðum á handahófskenndan hátt. Hvert hreyfanleikalíkan skilgreinir framleiðsla rafeind og holuhreyfanleika. Hægt er að nota úttakshreyfanleika sem inntak í önnur hreyfanleikalíkön á meðan hægt er að nota jöfnur til að sameina hreyfanleika. Viðmótið inniheldur einnig eiginleika til að bæta Auger, Direct og Shockley-Read Hall endursamsetningu við hálfleiðara lén, eða gerir kleift að tilgreina eigin endursamsetningarhraða. Tilgreina þarf lyfjadreifingu fyrir gerð hálfleiðaratækja. Hugbúnaðartólið okkar býður upp á lyfjalíkönseiginleika til að gera þetta. Hægt er að tilgreina stöðugt og lyfjapróf sem skilgreint er af okkur, eða nota áætlaða Gaussian lyfjapróf. Við getum líka flutt inn gögn frá utanaðkomandi aðilum. Hugbúnaðartólið okkar býður upp á aukna rafstöðueiginleika. Efnisgagnagrunnur er til með eiginleikum fyrir nokkur efni.

 

FERLIÐ TCAD og DEVICE TCAD

Tækni tölvustýrð hönnun (TCAD) vísar til notkunar á tölvuhermum til að þróa og hagræða hálfleiðaravinnslutækni og -tæki. Líkanagerð framleiðslunnar er kölluð Process TCAD, en líkangerð aðgerðarinnar er kölluð Device TCAD. TCAD ferlið og tækjahermunarverkfærin styðja fjölbreytt úrval af forritum eins og CMOS, krafti, minni, myndskynjurum, sólarsellum og hliðstæðum/RF tækjum. Sem dæmi, ef þú ert að íhuga að þróa mjög skilvirkar flóknar sólarsellur, getur það sparað þér þróunartíma með því að íhuga TCAD tól í atvinnuskyni og fækka dýrum prufukeyrslum. TCAD veitir innsýn í grundvallar eðlisfræðileg fyrirbæri sem hafa að lokum áhrif á frammistöðu og afrakstur. Hins vegar, að nota TCAD krefst þess að kaupa og gefa leyfi fyrir hugbúnaðarverkfærunum, tíma til að læra á TCAD tólið og jafnvel meira að verða fagmannlegur og reiprennandi með tólið. Þetta getur verið mjög kostnaðarsamt og erfitt ef þú munt ekki nota þennan hugbúnað viðvarandi eða til langs tíma. Í þessum tilvikum getum við aðstoðað þig við að bjóða upp á þjónustu verkfræðinga okkar sem nota þessi verkfæri daglega. Hafðu samband við okkur til að fá frekari upplýsingar.

 

HÖNNUN HÁLFleiðaraferla

Það eru fjölmargar tegundir búnaðar og ferla sem notaðar eru í hálfleiðaraiðnaðinum. Það er hvorki auðvelt né góð hugmynd að íhuga alltaf að kaupa lykilkerfi sem boðið er upp á á markaðnum. Það fer eftir því hvaða forriti og efni sem er íhugað, hálfleiðara fjármagnsbúnað þarf að vera vandlega valinn og samþættur í framleiðslulínu. Það þarf mjög sérhæfða og reyndan verkfræðinga til að byggja upp framleiðslulínu fyrir hálfleiðaraframleiðanda. Óvenjulegir ferliverkfræðingar okkar geta hjálpað þér með því að hanna frumgerð eða fjöldaframleiðslulínu sem passar fjárhagsáætlun þinni. Við getum aðstoðað þig við að velja heppilegustu ferlana og búnaðinn sem uppfyllir væntingar þínar. Við munum útskýra þér kosti tiltekins búnaðar og aðstoða þig í gegnum stigin við að koma á fót frumgerð þinni eða fjöldaframleiðslulínu. Við getum þjálfað þig í þekkingunni og gert þig tilbúinn til að reka línuna þína. Það veltur allt á þínum þörfum. Við getum mótað bestu lausnina í hverju tilviki fyrir sig. Sumar helstu gerðir búnaðar sem notaðar eru við framleiðslu á hálfleiðarabúnaði eru ljóslitógrafísk verkfæri, útfellingarkerfi, ætingarkerfi, ýmis prófunar- og persónugreiningarverkfæri ... ... osfrv. Flest þessara tóla eru alvarlegar fjárfestingar og fyrirtæki geta ekki þolað rangar ákvarðanir, sérstaklega stórvirki þar sem jafnvel nokkrar klukkustundir af niður í miðbæ geta verið hrikalegar. Ein af áskorunum sem mörg aðstaða gæti staðið frammi fyrir er að ganga úr skugga um að innviðir verksmiðjunnar séu hæfir til að hýsa hálfleiðara vinnslubúnaðinn. Margt þarf að fara yfir vandlega áður en tekin er ákveðin ákvörðun um uppsetningu tiltekins búnaðar eða klasaverkfæris, þar á meðal núverandi stig hreina herbergisins, uppfærsla á hreina herberginu ef þörf krefur, skipulagning á rafmagns- og undangasleiðslum, vinnuvistfræði, öryggi , hagræðingu í rekstri….o.s.frv. Talaðu fyrst við okkur áður en þú ferð í þessar fjárfestingar. Að láta áætlanir þínar og verkefni endurskoða af vanaðri hálfleiðara verkfræðingum okkar og stjórnendum mun aðeins stuðla að viðleitni þinni á jákvæðan hátt.

 

PRÓFAN Á HÁLFLEÐARAEFNI OG TÆKJA

Svipað og með hálfleiðaravinnslutækni, krefjast prófun og QC á hálfleiðaraefnum og tækjum mjög sérhæfðan búnað og verkfræðiþekkingu. Við þjónum viðskiptavinum okkar á þessu sviði með því að veita sérfræðiráðgjöf og ráðgjöf um þá tegund prófunar- og mælifræðibúnaðar sem er bestur og hagkvæmastur fyrir tiltekið forrit, ákvarða og sannreyna hæfi innviða á aðstöðu viðskiptavinarins .... osfrv. Mengun í hreinu herbergi, titringur á gólfi, leiðbeiningar um loftflæði, hreyfingar fólks o.s.frv. allt þarf að meta vandlega og meta. Við getum líka sjálfstætt prófað sýnin þín, veitt nákvæma greiningu, ákvarðað undirrót bilunar ... osfrv. sem utanaðkomandi samningsþjónustuaðili. Frá frumgerðaprófun til framleiðslu í fullri stærð, getum við hjálpað þér að tryggja hreinleika upphafsefna, við getum hjálpað til við að draga úr þróunartíma og leysa afrakstursvandamál í framleiðsluumhverfi hálfleiðara.

 

Hálfleiðaraverkfræðingar okkar nota eftirfarandi hugbúnað og uppgerð verkfæri fyrir hálfleiðaraferli og tækjahönnun:

• ANSYS RedHawk / Q3D Extractor / Totem / PowerArtist

• MicroTec SiDif / SemSim / SibGraf

• COMSOL hálfleiðaraeining

 

Við höfum aðgang að fjölbreyttu úrvali háþróaðs rannsóknarstofubúnaðar til að þróa og prófa hálfleiðara efni og tæki, þar á meðal:

• Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS), Time of Flight SIMS (TOF-SIMS)

• Sendingarrafeindasmásjá – Skannandi rafeindasmásjá (TEM-STEM)

• Skanna rafeindasmásjá (SEM)

• X-Ray Photoelectron Spectroscopy – Rafeindalitrófsgreining fyrir efnagreiningu (XPS-ESCA)

• Gel Permeation Chromatography (GPC)

• High Performance Liquid Chromatography (HPLC)

• Gasskiljun – Massagreining (GC-MS)

• Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS)

• Glóðafhleðslumassagreining (GDMS)

• Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (LA-ICP-MS)

• Vökvaskiljun massa litrófsgreining (LC-MS)

• Auger Electron Spectroscopy (AES)

• Energy Dispersive Spectroscopy (EDS)

• Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR)

• Rafeindaorkutap litrófsgreining (EELS)

• Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectroscopy (ICP-OES)

• Raman

• X-Ray Diffraction (XRD)

• Röntgenflúrljómun (XRF)

• Atomic Force Microscopy (AFM)

• Dual Beam - Focused Ion Beam (Dual Beam - FIB)

• Rafeindaafturdreifing (EBSD)

• Optical Profilometry

• Gasgreining (RGA) og innra vatnsgufuinnihald

• Instrumental Gas Analysis (IGA)

• Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)

• Total Reflection X-Ray Fluorescence (TXRF)

• Specular X-Ray Reflexivity (XRR)

• Dynamic Mechanical Analysis (DMA)

• Destructive Physical Analysis (DPA) í samræmi við MIL-STD kröfur

• Differential Scanning Calorimetry (DSC)

• Thermogravimetric Analysis (TGA)

• Thermomechanical Analysis (TMA)

• Rauntíma röntgengeisli (RTX)

• Skanna hljóðsmásjá (SAM)

• Próf til að meta rafræna eiginleika

• Líkamleg og vélræn próf

• Aðrar hitaprófanir eftir þörfum

• Umhverfisherbergi, öldrunarpróf

 

Sumar af algengu prófunum sem við framkvæmum á hálfleiðurum og tækjum úr þeim eru:

• Mat á hreinsunarvirkni með því að mæla yfirborðsmálma á hálfleiðurum

• Að bera kennsl á og staðsetja snefilstig óhreininda og agnamengunar í hálfleiðaratækjum

• Mæling á þykkt, þéttleika og samsetningu þunnra filma

• Lýsing á lyfjaskammti og lögun dópefna, magngreining á magndópefni og óhreinindum

• Athugun á þversniðsbyggingu ICs

• Tvívídd kortlagning á fylkisþáttum í hálfleiðurum örtæki með skönnun rafeindasmásjár-rafeindaorkutaps litrófsgreiningar (STEM-EELS)

• Auðkenning á mengun við tengi með Auger Electron Spectroscopy (FE-AES)

• Sjónræn og megindlegt mat á formgerð yfirborðs

• Að bera kennsl á þoku og mislitun á oblátu

• ATE verkfræði og prófun fyrir framleiðslu og þróun

• Prófun á hálfleiðara vöru, innbrennslu og áreiðanleikahæfi til að tryggja IC hæfni