Az optikai diagnosztikai és metrológiai rendszereknek előnyei lehetnek más rendszerekkel szemben. Például az optikai metrológiai rendszerek lehetnek nem tolakodó és nem roncsoló jellegűek, biztonságosan és gyorsan tudnak mérni. Egyes alkalmazásokban az optikai diagnosztikai és metrológiai rendszerek egy másik előnyt is kínálhatnak, nevezetesen azt a képességet, hogy távolról is mérjenek anélkül, hogy a vizsgáló személyzet felmászna vagy odamenne egy adott helyre, ami nehéz vagy lehetetlen lehet. A bevonat kamrába beépített in situ ellipszométer tökéletes példa egy olyan rendszer hasznosságára, amely valós időben képes mérni a bevonat vastagságát anélkül, hogy a bevonási folyamatba beavatkozna. Optikai mérnökeink számos alkalmazáshoz valósítottak meg optikai diagnosztikát, és olyan komplett kulcsrakész rendszereket terveztek, amelyek megfelelnek a metrológia különböző igényeinek, mint például:

​

• Mikrofluidika: A részecskék követése, ezek sebességének és alakjának mérése

• Granulometria: A szemcsék méretének, alakjának és koncentrációjának mérése

• Mobil nagysebességű kamerarendszer: Olyan események felvétele, amelyek túl gyorsak ahhoz, hogy szabad szemmel megfigyelhetők és megérthetők. Ezután a filmek lassított felvételben nézhetők elemzés céljából.

• Digitális videórögzítő (DVR) rendszer: Komplett rendszer a képrögzítéshez hardverrel és szoftverrel, kompatibilis az összes fő kamerával, hogy UV-től IR-ig működjön nagy vagy alacsony felbontással és különböző képsebességgel.  

• Ellipsométer rendszerek a bevonat vastagságának és törésmutatójának in situ mérésére.

• Lézeres vibrométer

• Lézeres távolságmérők

• Fiberszkópok és endoszkópok