AGS-Engineering hat es sich zur Aufgabe gemacht, Ihr Unternehmen durch Unterstützung bei Design, Entwicklung und Dokumentation von Dünn- und Dickschichten und Beschichtungen zu unterstützen. Auch wenn die Definition von Dünn- und Dickfilmbeschichtungen vage ist, werden im Allgemeinen Beschichtungen mit einer Dicke von < 1 Mikrometer als Dünnfilm und Beschichtungen mit einer Dicke von > 1 Mikrometer als Dickfilm kategorisiert. Dünne und dicke Filme sind die grundlegenden Bausteine auf Chipebene der meisten Hightech-Komponenten und -Geräte von heute, darunter Mikrochips, mikroelektronische Halbleiterbauelemente, mikroelektromechanische Bauelemente (MEMS), optische Beschichtungen , Magnetspeicher und Magnetbeschichtungen, Funktionsbeschichtungen, Schutzbeschichtungen und andere. Ganz grob erklärt werden solche Vorrichtungen erhalten, indem eine oder mehrere Schichten von Beschichtungen auf Substrate aufgebracht werden und die Beschichtungen unter Verwendung von fotolithografischen Systemen und Prozessen wie etwa Ätzen gemustert werden. Durch Abscheidung dünner Schichten auf bestimmten Bereichen und selektives Ätzen einiger Bereiche werden die Schaltkreise von mikroelektronischen Geräten erhalten. Die Dünnschichttechnologie ermöglicht es uns, innerhalb kurzer Zeit Milliarden von Transistoren mit nanometrischer Präzision und Genauigkeit und einem erstaunlichen Maß an Wiederholbarkeit auf winzigen Substraten herzustellen.

 

DÜNNSCHICHT & BESCHICHTUNGEN BERATUNG, DESIGN UND ENTWICKLUNG

Dünne Schichten haben Eigenschaften, die von ihren Massenmaterialien abweichen, und daher ist es ein Bereich, der direkte Erfahrung auf diesem Gebiet erfordert. Indem Sie die Eigenschaften und das Verhalten von dünnen Filmen und Beschichtungen verstehen, können Sie Wunder in Ihren Produkten und Ihrem Geschäft bewirken. Durch das Hinzufügen dünner Schichten, die im Allgemeinen weniger als 1 Mikrometer dick sind, können Sie nicht nur das Aussehen, sondern auch das Verhalten und die Funktionalität von Oberflächen erheblich verändern. Dünnfilmbeschichtungen können je nach Anwendung sowohl einschichtig als auch mehrschichtig sein. Unsere Beratungs-, Design- und Entwicklungsleistungen für Dünnschichten und Beschichtungen sind:

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• Beratung, Design, Entwicklung von ein- und mehrschichtigen optischen Beschichtungen, Antireflexions (AR)-Beschichtungen, Hochreflektoren (HR), Bandpassfiltern (BP), Kerbfiltern (Schmalbandpass), WDM-Filtern, Gain-Flattening-Filtern, Strahlteilern, Kaltlichtspiegeln (CM ), Heißspiegel (HM), Farbfilter und -spiegel, Farbkorrektoren, Kantenfilter (EF), Polarisatoren, Laserbeschichtungen, UV- & EUV- und Röntgenbeschichtungen, Rugates. Wir verwenden fortschrittliche Software wie Optilayer und Zemax OpticStudio für Design und Simulation.

• Beratung, Design und Entwicklung von sehr präzisen, lochfreien und vollständig konformen dünnen Filmen im Nanometerbereich in jeder Form und Geometrie unter Verwendung von CVD, ALD, MVD, PVD, Fluorpolymeren, UV-Härtung, Nanobeschichtungen, medizinischen Beschichtungen, Versiegelungen, Beschichtungen und Andere.

• Durch den Aufbau komplexer Dünnschichtstrukturen schaffen wir Multimaterialstrukturen wie 3D-Strukturen, Stapel von Multilayern, …. usw.

• Prozessentwicklung und -optimierung für Dünnschicht- und Beschichtungsabscheidung, Ätzen, Verarbeitung

• Design und Entwicklung von Dünnschichtbeschichtungsplattformen und -hardware, einschließlich automatisierter Systeme. Wir haben Erfahrung sowohl mit Batch-Produktionssystemen als auch mit High-Volume-Systemen.

• Prüfung und Charakterisierung von Dünnfilmbeschichtungen mit einer breiten Palette fortschrittlicher analytischer Prüfgeräte, die chemische, mechanische, physikalische, elektronische und optische Eigenschaften und Spezifikationen messen.

• Ursachenanalyse von ausgefallenen Dünnschichtstrukturen und Beschichtungen. Abisolieren und Entfernen fehlerhafter Dünnschichtstrukturen und Beschichtungen zur Analyse darunter liegender Oberflächen zur Bestimmung der Grundursache.

• Reverse-Engineering

• Gutachter und Prozessbegleitung

 

 

BERATUNG, DESIGN UND ENTWICKLUNG FÜR DICKSCHICHT & BESCHICHTUNGEN

Dickfilmbeschichtungen sind dicker und > 1 Mikrometer dick. Sie können tatsächlich viel dicker sein und im Bereich von 25–75 &mgr;m oder mehr liegen. Unsere Beratungs-, Design- und Entwicklungsleistungen im Bereich Dickschichten und Beschichtungen sind:

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• Konforme Dickfilmbeschichtungen sind chemische Schutzbeschichtungen oder Polymerfilme mit einer Dicke von typischerweise etwa 50 Mikron, die sich an die Leiterplattentopologie „anpassen“. Sein Zweck besteht darin, elektronische Schaltungen vor rauen Umgebungen zu schützen, die Feuchtigkeit, Staub und/oder chemische Verunreinigungen enthalten können. Da es elektrisch isolierend ist, behält es den langfristigen Oberflächenisolationswiderstand (SIR) bei und stellt somit die Betriebsintegrität der Baugruppe sicher. Schutzlacke bieten auch eine Barriere gegen Luftschadstoffe aus der Umgebung, wie z. B. Salzsprühnebel, und verhindern so Korrosion. Wir bieten Beratung, Design und Entwicklung von konformen Beschichtungen mit CVD, ALD, MVD, PVD, Fluorpolymeren, UV-Härtung, Nanobeschichtungen, medizinischen Beschichtungen, Versiegelungen, Pulverbeschichtungen, Beschichtungen und anderen.

• Design und Entwicklung von Dickschichtbeschichtungsplattformen und -hardware, einschließlich automatisierter Systeme. Wir haben Erfahrung sowohl mit Batch-Produktionssystemen als auch mit High-Volume-Systemen.

• Prüfung und Charakterisierung von Dickschichtbeschichtungen mit einer breiten Palette von hochpräzisen Prüfgeräten

• Ursachenanalyse von ausgefallenen Dünnschichtstrukturen und Beschichtungen

• Reverse-Engineering

• Gutachter und Prozessbegleitung

• Beratungsleistungen

 

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PRÜFUNG UND CHARAKTERISIERUNG VON DÜNN- UND DICKLACKEN

Wir haben Zugriff auf eine große Anzahl fortschrittlicher Test- und Charakterisierungsgeräte, die für Dünn- und Dickfilme verwendet werden:

• Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS), Flugzeit-SIMS (TOF-SIMS)

• Transmissionselektronenmikroskopie – Scanning Transmission Electron Microscopy (TEM-STEM)

• Rasterelektronenmikroskopie (REM)

• Röntgen-Photoelektronenspektroskopie – Elektronenspektroskopie für die chemische Analyse (XPS-ESCA)

• Spektrophotometrie

• Spektrometrie

• Ellipsometrie

• Spektroskopische Reflektometrie

• Glanzmesser

• Interferometrie

• Gelpermeationschromatographie (GPC)

• Hochleistungsflüssigkeitschromatographie (HPLC)

• Gaschromatographie – Massenspektrometrie (GC-MS)

• Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS)

• Glimmentladungs-Massenspektrometrie (GDMS)

• Laserablations-Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (LA-ICP-MS)

• Flüssigchromatographie-Massenspektrometrie (LC-MS)

• Auger-Elektronenspektroskopie (AES)

• Energiedispersive Spektroskopie (EDS)

• Fourier-Transformations-Infrarotspektroskopie (FTIR)

• Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)

• Optische Emissionsspektroskopie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-OES)

• Raman

• Röntgenbeugung (XRD)

• Röntgenfluoreszenz (XRF)

• Rasterkraftmikroskopie (AFM)

• Dual Beam - Fokussierter Ionenstrahl (Dual Beam – FIB)

• Elektronenrückstreubeugung (EBSD)

• Optische Profilometrie

• Taster-Profilometrie

• Mikrokratzprüfung

• Restgasanalyse (RGA) und interner Wasserdampfgehalt

• Instrumentelle Gasanalyse (IGA)

• Rutherford-Rückstreuspektrometrie (RBS)

• Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz (TXRF)

• Spiegelndes Röntgenreflexionsvermögen (XRR)

• Dynamisch-mechanische Analyse (DMA)

• Destruktive physikalische Analyse (DPA) gemäß MIL-STD-Anforderungen

• Dynamische Differenzkalorimetrie (DSC)

• Thermogravimetrische Analyse (TGA)

• Thermomechanische Analyse (TMA)

• Echtzeit-Röntgen (RTX)

• Akustische Rastermikroskopie (SAM)

• Tests zur Bewertung elektronischer Eigenschaften

• Schichtwiderstandsmessung & Anisotropie & Mapping & Homogenität

• Leitfähigkeitsmessung

• Physikalische und mechanische Tests wie Dünnfilm-Spannungsmessung

• Weitere thermische Tests nach Bedarf

• Umweltkammern, Alterungstests

 

Um mehr über unsere Möglichkeiten zur Abscheidung und Verarbeitung von Dünn- und Dickschichtbeschichtungen zu erfahren, besuchen Sie bitte unsere Produktionsstättehttp://www.agstech.net