MEMS​

MEMS, што расшыфроўваецца як MicroElectroMechanical Systems, - гэта малюсенькія мікрамашыны ў маштабе чыпа, якія складаюцца з кампанентаў памерам ад 1 да 100 мікраметраў (мікраметр складае адну мільённую долю метра), а прылады MEMS звычайна маюць памер ад 20 мікраметраў  (20 мільённых частак метра) да міліметра. Большасць прылад MEMS маюць некалькі сотняў мікрон у папярочніку. Звычайна яны складаюцца з цэнтральнага блока, які апрацоўвае даныя, мікрапрацэсара і некалькіх кампанентаў, якія ўзаемадзейнічаюць са знешнім светам, такіх як мікрадатчыкі. У такіх невялікіх маштабах правілы класічнай фізікі не заўсёды карысныя. З-за вялікага суадносін плошчы паверхні і аб'ёму MEMS паверхневыя эфекты, такія як электрастатыка і змочванне, дамінуюць над аб'ёмнымі эфектамі, такімі як інэрцыя або цеплавая маса. Такім чынам, праектаванне і распрацоўка МЭМС патрабуе пэўнага вопыту ў гэтай галіне, а таксама спецыяльнага праграмнага забеспячэння, якое ўлічвае гэтыя правілы некласічнай фізікі.

​

MEMS сталі практычнымі асабліва ў апошнія некалькі дзесяцігоддзяў пасля таго, як іх можна было вырабляць з выкарыстаннем мадыфікаваных тэхналогій вытворчасці паўправадніковых прыбораў, якія звычайна выкарыстоўваюцца для вытворчасці электронікі. Яны ўключаюць у сябе фармаванне і пакрыццё, вільготнае тручэнне (KOH, TMAH) і сухое тручэнне (RIE і DRIE), электраэразрадная апрацоўка (EDM), нанясенне тонкіх плёнак і іншыя тэхналогіі, якія дазваляюць вырабляць вельмі маленькія прылады.

​

Калі ў вас ёсць новая канцэпцыя MEMS, але вы не валодаеце спецыялізаванымі інструментамі праектавання і/або патрэбным вопытам, мы можам вам дапамагчы. Пасля праектавання, распрацоўкі і вытворчасці мы можам распрацаваць індывідуальнае тэставае абсталяванне і праграмнае забеспячэнне для вашага прадукту MEMS. Мы супрацоўнічаем з шэрагам вядомых ліцейных заводаў, якія спецыялізуюцца на вырабе MEMS. Абедзве пласціны 150 мм і 200 мм апрацоўваюцца ў адпаведнасці з ISO/TS 16949 і ISO 14001, зарэгістраванымі і сумяшчальнымі з RoHS. Мы можам праводзіць перадавыя даследаванні, праектаванне, распрацоўку, тэсціраванне, кваліфікацыю, стварэнне прататыпаў, а таксама буйную камерцыйную вытворчасць. Некаторыя папулярныя прылады MEMS, у якіх нашы інжынеры маюць вопыт, ўключаюць:

​

• Акселерометры

• Гіраскопы/ Гірас

• Магнітаметры

• Мікрафоны

• Рэзанатары

• Аптычныя МЭМС(напрыклад, лічбавыя праектары, усе валаконна-аптычныя камутатары)

• Прывады MEMSі датчыкі (напрыклад, датчык руху, датчык ціску)

• ВЧ перамыкачы і пераменнікі

• Камбайны энергіі

• Мікрабалометры

 

Малюсенькія датчыкі і выканаўчыя механізмы MEMS уключылі новыя функцыянальныя магчымасці ў смартфонах, планшэтах, аўтамабілях, праектарах і г.д. і маюць вырашальнае значэнне для Інтэрнэту рэчаў (IoT). З іншага боку, MEMS прадстаўляе спецыялізаваныя інжынерныя задачы, у тым ліку нестандартныя працэсы вырабу, узаемадзеянне некалькіх фізічных элементаў, інтэграцыю з мікрасхемамі і патрабаванні да індывідуальнай герметычнай упакоўкі. Без спецыяльнай дызайнерскай платформы MEMS часта патрабуецца шмат гадоў, каб вывесці прадукт MEMS на рынак. Мы выкарыстоўваем перадавыя інструменты для праектавання і распрацоўкі MEMS. Дызайн Tanner MEMS дазваляе распрацоўваць і ствараць 3D MEMS у адным уніфікаваным асяроддзі, а таксама дазваляе лёгка інтэграваць прылады MEMS са схемамі апрацоўкі аналагавых/змешаных сігналаў на адной мікрасхеме. Ён павышае тэхналагічнасць прылад MEMS з дапамогай механічнага, тэрмічнага, акустычнага, электрычнага, электрастатычнага, магнітнага аналізу і аналізу вадкасці. Іншыя праграмныя інструменты ад Coventor прапануюць магутныя платформы для праектавання, мадэлявання, праверкі і мадэлявання працэсаў MEMS. Платформа Coventor вырашае спецыфічныя інжынерныя задачы MEMS, такія як узаемадзеянне некалькіх фізічных элементаў, варыяцыі працэсаў, інтэграцыя MEMS+IC, узаемадзеянне MEMS+пакетаў. Нашы інжынеры MEMS здольныя змадэляваць і мадэляваць паводзіны і ўзаемадзеянне прылады, перш чым прыступіць да фактычнага вырабу, і за некалькі гадзін або дзён яны могуць змадэляваць або змадэляваць эфекты, якія звычайна занялі б месяцы зборкі і выпрабаванняў на фабрыцы. Некаторыя з перадавых інструментаў, якія выкарыстоўваюць нашы дызайнеры MEMS, з'яўляюцца наступнымі.

 

Для мадэлявання:

• Тэнер MEMS Design Flow ад Mentor

• MEMS+, CoventorWare, SEMulator3D ад Coventor

• IntelliSense

• Модуль MEMS Comsol

• ANSYS

 

Для малявання масак:

• AutoCAD

• Vectorworks

• Рэдактар макета

 

Для мадэлявання:

• Solidworks

 

Для разлікаў, аналітычнага, лікавага аналізу:

• Matlab

• MathCAD

• Матэматыка

 

Ніжэй прыведзены кароткі спіс праектавання і распрацоўкі MEMS, якія мы выконваем:

• Стварыце трохмерную мадэль MEMS з макета

• Праверка правіл праектавання на тэхналагічнасць МЭМС

• Мадэляванне на сістэмным узроўні прылад MEMS і праектавання мікрасхем

• Поўны пласт і візуалізацыя геаметрыі дызайну

• Аўтаматычнае стварэнне макета з параметрізаванымі ячэйкамі

• Генерацыя паводніцкіх мадэляў вашых прылад MEMS

• Пашыраны макет маскі і працэс праверкі

• Экспарт файлаў DXF   

​

МІКРАФЛЮІДЫКА

Нашы аперацыі па распрацоўцы і распрацоўцы мікрафлюідных прылад накіраваны на выраб прылад і сістэм, у якіх апрацоўваюцца невялікія аб'ёмы вадкасці. У нас ёсць магчымасць распрацаваць мікрафлюідныя прылады для вас і прапанаваць стварэнне прататыпаў і мікравытворчасць на заказ для вашых прыкладанняў. Прыкладамі мікрафлюідных прыладаў з'яўляюцца мікрарухальныя прылады, сістэмы лабараторыі на чыпе, мікратэрмічныя прылады, струйныя друкавальныя галоўкі і многае іншае. У мікрафлюідыцы мы маем справу з дакладным кантролем і маніпуляцыяй вадкасцямі ў субміліметровых рэгіёнах. Вадкасці перамяшчаюцца, змешваюцца, аддзяляюцца і апрацоўваюцца. У мікрафлюідных сістэмах вадкасць перамяшчаецца і кіруецца альбо актыўна з выкарыстаннем малюсенькіх мікрапомпаў і мікраклапанаў і таму падобнае, альбо пасіўна з выкарыстаннем капілярных сіл. У сістэмах "лабараторыя-на-чыпе" працэсы, якія звычайна выконваюцца ў лабараторыі, мініяцюрызуюцца на адным чыпе, каб павысіць эфектыўнасць і мабільнасць, а таксама паменшыць аб'ём проб і рэагентаў.

Некаторыя асноўныя сферы прымянення мікрафлюідных прылад і сістэм:

​

- Лабараторыі на чыпе

- Скрынінг наркотыкаў

- Аналізы на глюкозу

- Хімічны мікрарэактар

- Мікрапрацэсарнае астуджэнне

- Мікрапаліўныя элементы

- Крышталізацыя бялку

- Хуткая замена лекаў, маніпуляцыі з асобнымі клеткамі

- Даследаванні асобных клетак

- Наладжвальныя оптафлюідныя масівы мікралінзаў

- Мікрагідраўлічныя і мікрапнеўматычныя сістэмы (вадкасныя помпы,

газавыя клапаны, сістэмы змешвання ... і г.д.)

- Біячып сістэмы ранняга папярэджання

- Выяўленне хімічных відаў

- Біяаналітычныя прыкладання

- На чыпе ДНК і аналіз бялку

- Распыляльныя прылады

- Кварцавыя праточныя клеткі для выяўлення бактэрый

- Падвойныя або некалькі чыпаў генерацыі кропель

​

AGS-Engineering таксама прапануе кансультацыі, праектаванне і распрацоўку прадуктаў у газападобных і вадкасных сістэмах і прадуктах у невялікіх маштабах. Мы выкарыстоўваем перадавыя інструменты вылічальнай гідрадынамікі (CFD), а таксама лабараторныя выпрабаванні, каб зразумець і візуалізаваць складаныя паводзіны патоку. Нашы інжынеры па мікрафлюідыцы выкарыстоўвалі інструменты CFD і мікраскапію, каб ахарактарызаваць з'явы пераносу вадкасці ў сітаватым асяроддзі ў мікрамаштабе. Мы таксама цесна супрацоўнічаем з ліцейнымі заводамі ў галіне даследаванняў, праектавання. Распрацоўка і пастаўка мікрафлюідных і биоМЕМС кампанентаў. Мы можам дапамагчы вам распрацаваць і вырабіць вашы ўласныя мікрафлюідныя чыпы. Наша вопытная каманда распрацоўшчыкаў чыпаў можа дапамагчы вам у распрацоўцы, стварэнні прататыпаў і вырабе невялікіх партый і аб'ёмаў мікрафлюідных чыпаў для вашага канкрэтнага прымянення. Пачынаць з прылад на пластмасе рэкамендуецца для хуткіх выпрабаванняў, паколькі выраб займае менш часу і выдаткаў у параўнанні з прыладамі на PDMS. Мы можам вырабляць мікрафлюідныя ўзоры на такіх пластмасах, як ПММА, КОК. Мы можам рабіць фоталітаграфію з наступнай мяккай літаграфіяй для стварэння мікрафлюідных узораў на PDMS. Мы вырабляем металічныя майстры, фрэзеруем шаблоны па латуні і алюмінію. Выраб прылады на PDMS і выраб шаблонаў на пластмасах і металах можа быць завершана на працягу некалькіх тыдняў. Па запыце мы можам забяспечыць раздымы для мадэляў, вырабленых на пластмасе, напрыклад, раздымы для партоў, сумяшчальныя з памерам порта 1 мм, а таксама фітынг для падлучэння капілярных трубак з ПЭЭК 360 мікрон. Для злучэння трубкі тайгона з унутраным дыяметрам 0,5 мм паміж адтулінамі для вадкасці і шпрыц-помпай можна паставіць мужчынскі міні-Люэр з металічным штыфтам. Рэзервуары для захоўвання вадкасці ёмістасцю 100 мкл. таксама можа быць прадастаўлена. Калі ў вас ужо ёсць дызайн, вы можаце адправіць яго ў фарматах Autocad, .dwg або .dxf.

​

​