КАНСТРУКЦЫЯ ПАВАРАДНІКОВЫХ МАТЭРЫЯЛАЎ

Нашы інжынеры па распрацоўцы паўправадніковых матэрыялаў выкарыстоўваюць спецыяльныя праграмныя модулі, якія прадастаўляюць спецыяльныя інструменты для аналізу працы паўправадніковых прылад на ўзроўні фундаментальнай фізікі. Такія модулі заснаваныя на ўраўненнях дрэйфу і дыфузіі з выкарыстаннем ізатэрмічных або неізатэрмічных мадэляў пераносу. Такія праграмныя сродкі карысныя для мадэлявання шэрагу практычных прылад, уключаючы біпалярныя транзістары (BJT), метал-паўправадніковыя палявыя транзістары (MESFET), метал-аксід-паўправадніковыя палявыя транзістары (MOSFET), біпалярныя транзістары з ізаляваным затворам ( IGBT), дыёды Шоткі і PN-пераходы. Мультыфізічныя эфекты гуляюць важную ролю ў прадукцыйнасці паўправадніковых прыбораў. З дапамогай такіх магутных праграмных інструментаў мы можам лёгка ствараць мадэлі з рознымі фізічнымі эфектамі. Напрыклад, цеплавыя эфекты ў сілавым прыладзе можна змадэляваць з дапамогай інтэрфейсу фізікі цеплаабмену. Аптычныя пераходы могуць быць уключаны для мадэлявання шэрагу прылад, такіх як сонечныя элементы, святлодыёды (LED) і фотадыёды (PD). Наша паўправадніковае праграмнае забеспячэнне выкарыстоўваецца для мадэлявання паўправадніковых прыбораў з маштабам даўжыні 100 нм і больш. У праграмным забеспячэнні ёсць шэраг фізічных інтэрфейсаў - інструментаў для атрымання ўваходных дадзеных мадэлі для апісання набору фізічных ураўненняў і межавых умоў, такіх як інтэрфейсы для мадэлявання транспарту электронаў і дзірак у паўправадніковых прыладах, іх электрастатычных паводзін... і г.д. Паўправадніковы інтэрфейс відавочна вырашае ўраўненне Пуасона ў спалучэнні з ураўненнямі бесперапыннасці як для электронных, так і для дзірачных канцэнтрацый носьбітаў зарада. Мы можам выбраць рашэнне мадэлі метадам канечных аб'ёмаў або метадам канечных элементаў. Інтэрфейс уключае матэрыяльныя мадэлі для паўправадніковых і ізаляцыйных матэрыялаў, у дадатак да межавых умоў для амічных кантактаў, кантактаў Шоткі, варотаў і шырокага дыяпазону электрастатычных межавых умоў. Асаблівасці інтэрфейсу апісваюць уласцівасць мабільнасці, паколькі яна абмежавана рассейваннем носьбітаў у матэрыяле. Праграмны інструмент уключае ў сябе некалькі наканаваных мадэляў мабільнасці і магчымасць стварэння карыстальніцкіх мадэляў мабільнасці, якія вызначаюцца карыстальнікам. Абодва гэтыя тыпу мадэляў можна камбінаваць адвольнымі спосабамі. Кожная мадэль рухомасці вызначае выходную рухомасць электронаў і дзірак. Мабільнасць на выхадзе можа быць выкарыстана ў якасці ўваходных дадзеных для іншых мадэляў мабільнасці, у той час як ураўненні могуць быць выкарыстаны для аб'яднання мабільнасці. Інтэрфейс таксама змяшчае функцыі для дадання рэкамбінацыі Ожэ, прамой і Шоклі-Рыд-Холла ў паўправадніковую вобласць або дазваляе ўказваць нашу ўласную хуткасць рэкамбінацыі. Для мадэлявання паўправадніковых прыбораў неабходна ўказаць размеркаванне допінгу. Наш праграмны інструмент забяспечвае функцыю допінгавай мадэлі для гэтага. Могуць быць вызначаны як пастаянныя, так і профілі допінгу, вызначаныя намі, або можа быць выкарыстаны прыблізны профіль легіравання Гаўса. Мы таксама можам імпартаваць даныя з знешніх крыніц. Наш праграмны інструмент прапануе пашыраныя магчымасці электрастатыкі. База дадзеных матэрыялаў існуе з уласцівасцямі для некалькіх матэрыялаў.

 

ПРАЦЭС TCAD і ПРЫЛАДА TCAD

Тэхналогія аўтаматызаванага праектавання (TCAD) адносіцца да выкарыстання камп'ютэрнага мадэлявання распрацоўкі і аптымізацыі тэхналогій і прылад апрацоўкі паўправаднікоў. Мадэляванне вытворчасці называецца Process TCAD, а мадэляванне працы прылады - Device TCAD. Інструменты мадэлявання працэсаў і прылад TCAD падтрымліваюць шырокі спектр прыкладанняў, такіх як CMOS, харчаванне, памяць, датчыкі выявы, сонечныя батарэі і аналагавыя/ВЧ прылады. Напрыклад, калі вы плануеце распрацаваць высокаэфектыўныя складаныя сонечныя батарэі, разгляд камерцыйнага інструмента TCAD можа зэканоміць ваш час распрацоўкі і паменшыць колькасць дарагіх пробных вытворчасцей. TCAD дае ўяўленне аб фундаментальных фізічных з'явах, якія ў канчатковым выніку ўплываюць на прадукцыйнасць і ўраджайнасць. Аднак выкарыстанне TCAD патрабуе набыцця і ліцэнзавання праграмнага забеспячэння, часу на вывучэнне інструмента TCAD і, нават больш, прафесійнага і беглага валодання інструментам. Гэта можа быць вельмі дарагім і цяжкім, калі вы не будзеце выкарыстоўваць гэта праграмнае забеспячэнне на пастаяннай або доўгатэрміновай аснове. У такіх выпадках мы можам дапамагчы вам, прапанаваўшы паслугі нашых інжынераў, якія выкарыстоўваюць гэтыя інструменты штодня. Звяжыцеся з намі для атрымання дадатковай інфармацыі.

 

Праектаванне працэсаў паўправаднікоў

У паўправадніковай прамысловасці выкарыстоўваецца мноства тыпаў абсталявання і працэсаў. Няпроста і нядобра заўсёды разглядаць магчымасць куплі сістэмы пад ключ, прапанаванай на рынку. У залежнасці ад прымянення і матэрыялаў, якія разглядаюцца, паўправадніковае абсталяванне неабходна старанна выбіраць і інтэграваць у вытворчую лінію. Для стварэння вытворчай лініі для вытворцы паўправадніковых прыбораў патрэбны вузкаспецыялізаваныя і вопытныя інжынеры. Нашы выключныя інжынеры-тэхнолагі могуць дапамагчы вам, распрацаваўшы прататып або лінію масавай вытворчасці, якая адпавядае вашаму бюджэту. Мы можам дапамагчы вам выбраць найбольш прыдатныя працэсы і абсталяванне, якія адпавядаюць вашым чаканням. Мы растлумачым вам перавагі пэўнага абсталявання і дапаможам вам на ўсіх этапах стварэння прататыпа або серыйнай вытворчасці. Мы можам навучыць вас ноў-хаў і падрыхтаваць вас да эксплуатацыі вашай лініі. Усё залежыць ад вашых патрэбаў. Мы можам сфармуляваць лепшае рашэнне ў кожным канкрэтным выпадку. Некаторыя асноўныя тыпы абсталявання, якія выкарыстоўваюцца ў вытворчасці паўправадніковых прыбораў, - гэта фоталітаграфічныя інструменты, сістэмы нанясення, сістэмы тручэння, розныя інструменты для выпрабаванняў і характарыстык ...... і г.д. Большасць з гэтых інструментаў з'яўляюцца сур'ёзнымі інвестыцыямі, і карпарацыі не могуць цярпець няправільных рашэнняў, асабліва фабрыкі, дзе нават некалькі гадзін прастою могуць быць разбуральнымі. Адна з праблем, з якой могуць сутыкнуцца многія прадпрыемствы, - пераканацца, што іх заводская інфраструктура прыдатная для размяшчэння паўправадніковага тэхналагічнага абсталявання. Перад прыняццем цвёрдага рашэння аб усталяванні пэўнага абсталявання або кластарнага інструмента многае трэба ўважліва разгледзець, у тым ліку бягучы ўзровень чыстага памяшкання, мадэрнізацыя чыстага памяшкання пры неабходнасці, планаванне ліній электраперадач і газаправодаў, эрганоміка, бяспека , аперацыйная аптымізацыя….і г.д. Спачатку пагаворыце з намі, перш чым займацца гэтымі інвестыцыямі. Разгляд вашых планаў і праектаў нашымі вопытнымі інжынерамі і менеджэрамі паўправадніковых фабрык толькі станоўча ўнясе ваш бізнес.

 

ВЫПРЫТАВАННЕ ПАВАРАДНІКОВЫХ МАТЭРЫЯЛАЎ І ПРЫЛАД

Падобна тэхналогіям апрацоўкі паўправаднікоў, тэсціраванне і кантроль якасці паўправадніковых матэрыялаў і прылад патрабуе вузкаспецыялізаванага абсталявання і інжынерных ведаў. Мы абслугоўваем нашых кліентаў у гэтай галіне, даючы экспертныя рэкамендацыі і кансультацыі па тыпе выпрабавальнага і метралагічнага абсталявання, якое з'яўляецца найлепшым і найбольш эканамічным для канкрэтнага прымянення, вызначаючы і правяраючы прыдатнасць інфраструктуры на аб'екце заказчыка…..і г.д. Узровень забруджвання чыстага памяшкання, вібрацыя на падлозе, напрамкі цыркуляцыі паветра, рух людзей і г.д. усё трэба ўважліва ацэньваць і ацэньваць. Мы таксама можам самастойна праверыць вашыя ўзоры, правесці дэталёвы аналіз, вызначыць асноўную прычыну адмовы… і г.д. у якасці пастаўшчыка знешніх кантрактных паслуг. Ад тэсціравання прататыпа да поўнамаштабнай вытворчасці, мы можам дапамагчы вам забяспечыць чысціню зыходных матэрыялаў, мы можам дапамагчы скараціць час распрацоўкі і вырашыць праблемы ўраджаю ў асяроддзі вытворчасці паўправаднікоў.

 

Нашы інжынеры па паўправадніках выкарыстоўваюць наступнае праграмнае забеспячэнне і інструменты мадэлявання для праектавання паўправадніковых працэсаў і прылад:

• ANSYS RedHawk / Q3D Extractor / Татэм / PowerArtist

• MicroTec SiDif / SemSim / SibGraf

• Паўправадніковы модуль COMSOL

 

У нас ёсць доступ да шырокага спектру сучаснага лабараторнага абсталявання для распрацоўкі і тэсціравання паўправадніковых матэрыялаў і прылад, у тым ліку:

• Другасная іённая мас-спектраметрыя (SIMS), часпралётная SIMS (TOF-SIMS)

• Трансмісійная электронная мікраскапія – сканіруючая трансмісійная электронная мікраскапія (TEM-STEM)

• Сканіравальная электронная мікраскапія (SEM)

• Рэнтгенаўская фотаэлектронная спектраскапія – электронная спектраскапія для хімічнага аналізу (XPS-ESCA)

• Гель-пранікальная храматаграфія (GPC)

• Высокаэфектыўная вадкасная храматаграфія (ВЭЖХ)

• Газавая храматаграфія - Мас-спектраметрыя (ГХ-МС)

• Мас-спектраметрыя з індуктыўна звязанай плазмай (ICP-MS)

• Мас-спектраметрыя з тлеючым разрадам (GDMS)

• Мас-спектраметрыя з індуктыўна звязанай плазмай з лазернай абляцыяй (LA-ICP-MS)

• Мас-спектраметрыя вадкаснай храматаграфіі (LC-MS)

• Аўжэ-электронная спектраскапія (AES)

• Энергадысперсійная спектраскапія (EDS)

• Інфрачырвоная спектраскапія Фур'е (FTIR)

• Спектраскапія страт энергіі электронаў (EELS)

• Аптычна-эмісійная спектраскапія з індуктыўна звязанай плазмай (ICP-OES)

• Раман

• Дыфракцыя рэнтгенаўскіх прамянёў (XRD)

• Рэнтгенаўская флуарэсцэнцыя (XRF)

• Атамна-сілавая мікраскапія (АСМ)

• Двайны прамень - сфакусаваны іённы прамень (двайны прамень - FIB)

• Дыфракцыя зваротнага рассейвання электронаў (EBSD)

• Аптычная профіляметрыя

• Аналіз рэшткавага газу (RGA) і ўнутранае ўтрыманне вадзяной пары

• Інструментальны аналіз газу (IGA)

• Спектраметрыя зваротнага рассейвання Рэзерфарда (RBS)

• Рэнтгенаўская флуарэсцэнцыя з поўным адлюстраваннем (TXRF)

• Люстранае рэнтгенаўскае адлюстраванне (XRR)

• Дынамічны механічны аналіз (DMA)

• Дэструктыўны фізічны аналіз (DPA) адпавядае патрабаванням MIL-STD

• Дыферэнцыяльная сканіруючая каларыметрыя (ДСК)

• Тэрмагравіметрычны аналіз (TGA)

• Тэрмамеханічны аналіз (ТМА)

• Рэнтген у рэальным часе (RTX)

• Сканіравальная акустычная мікраскапія (SAM)

• Тэсты для ацэнкі электронных уласцівасцяў

• Фізічныя і механічныя выпрабаванні

• Іншыя цеплавыя выпрабаванні па меры неабходнасці

• Экалагічныя камеры, тэсты на старэнне

 

Некаторыя з распаўсюджаных тэстаў, якія мы праводзім на паўправадніках і вырабленых з іх прыладах:

• Ацэнка эфектыўнасці ачысткі шляхам колькаснага вызначэння паверхні металаў на паўправадніковых пласцінах

• Ідэнтыфікацыя і месцазнаходжанне слядоў прымешак і забруджвання часціцамі ў паўправадніковых прыладах

• Вымярэнне таўшчыні, шчыльнасці і складу тонкіх плёнак

• Характарыстыка дозы легіруючай дабаўкі і формы профілю, колькасная ацэнка аб'ёмных дабавак і прымешак

• Даследаванне структуры папярочнага сячэння ІМС

• Двухмернае адлюстраванне элементаў матрыцы ў паўправадніковым мікрапрыладзе метадам сканіруючай трансмісійнай электроннай мікраскапіі - спектраскапіі страт энергіі электронаў (STEM-EELS)

• Ідэнтыфікацыя забруджванняў на стыках падзелу з дапамогай Оже-электроннай спектраскапіі (FE-AES)

• Візуалізацыя і колькасная ацэнка марфалогіі паверхні

• Ідэнтыфікацыя памутнення пласцін і змены колеру

• Праектаванне і выпрабаванні ATE для вытворчасці і распрацоўкі

• Тэставанне паўправадніковага прадукту, выгаранне і кваліфікацыя надзейнасці для забеспячэння прыдатнасці мікрасхемы